亚纳米的分辨率；
线性度可达0.02%；
测量带宽可调（50HZ，500Hz或5kHz）；
放大器增益可调（在不必使用满量程的情况下）；
可选择长（“L”）或短（“-S”）测量量程（2pF或10pF电容）；
磁盘驱动器磁头测试；
膜/晶圆夹头对齐；
扫描探针显微技术；
光腔调整；
干涉测量；
参数 | 值 | 单位 | 备注 |
静态参数 |
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尺寸 | 218x77x34 | mm |
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供电电压 | ±15±1@120mA | VDC |
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±120~+130@30mA | VDC |
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-32~-27@30mA | VDC | ① | |
传感器输出 | -5~+5 | V | ② |
模拟输入范围 | -10~+10 | V |
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数字输入D/A分辨率 | 14 | Bits |
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纳米传感器动态参数 |
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比例因子 | 0.1~0.01 | GV-1 | ③ |
噪音水平(-S) | ＜0.3 | ppmHz-1/2rms | ④ |
噪音水平(-L) | ＜0.15 | ppmHz-1/2rms | ④ |
热漂移 | 5 | ppmK-1Typ | ④ |
预热时间 | 10 | 分钟 |
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预热漂移 | 80 | ppm | ④ |
聚苯乙烯扰 | 10 | ppmV-1 | ④ |
线性度 | ＜0.2 | % | ⑤ |
带宽 | 50,500,5000±10% | Hz | ⑥ |
高压放大器的动态参数(典型值) |
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输出电压(2100) | 0~+120 | V |
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输出电压(2100-20) | -20~+120 | V |
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带宽 | 5 | KHz | ⑦ |
模拟输入增益 | 6 | V/V | ⑧ |
数字输入增益 | 7.3 | mV/bit | ⑧ |
噪音 | 0.2 | mVms | ⑨ |
电流 | 50 | mA |
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注意：
①、 负电源，于2100-20型号中。
②、 量程可调在内降低性能的情况下。
③、 G就是距离的意思，比例因子是通过侧面面板的选择开关来调整。
④、 PPM是指每百万分之一距离变化。
⑤、 线性误差取决于传感器安装精度0.02%的线性误差是可以实现的。请联系真尚有公司洽谈详情。
⑥、 带宽是通过侧面面板的选择开关来调整。
⑦、 典型的，取决于执行机构。
⑧、 只限于开环控制。
⑨、 一般情况。
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