- 主要特点-
外壳材料用不胀钢和微晶玻璃；
15、35、70um的移动距离；
分辨率高达纳米级；
1ms响应时间；
安装方便简洁；
特别适用于OEM应用；
-应用领域-
扫描显微探针；
硬盘磁头测试；
近场扫描光学显微镜；
精密工程……
- 技术规格-
参数 | 符号 | 值 | 单位 | 备注 | |||
静态参数 |
| 4~20mA（500Ω阻抗）或0~10V |
|
| |||
型号 |
| S | M | L |
|
| |
材料 |
| 不胀钢和微晶玻璃 |
|
| |||
长度 |
| 42.2±0.3 | 76.7±0.3 | 127.8±0.3 | mm |
| |
直径 |
| 20±0.15 |
|
| mm |
| |
净重（不包含电缆和接头） |
| 70 | 110 | 170 | g |
| |
线缆长度 |
| 2040±40 |
|
| mm |
| |
*移动范围 | dxp·max | >15 | >35 | >70 | μm |
| |
负荷 |
| 5 | 5 | 5 | Kg | ① | |
动态参数 |
| ||||||
工作温度 |
| +10~+50 |
|
| ℃ |
| |
储存温度 |
| 0~+70 |
|
| ℃ |
| |
相对湿度 |
| 5~95（无冷凝） | % |
| |||
工作压力 | -VAC | 10-3~10-5 | t |
| |||
-UVAC | 10-3~10-9 | t |
| ||||
响应时间 | txs·s | 1 | 4.3 | 25 | ms |
| |
*位置噪音（1δ） | δXp·n | 1（使用低噪声控制器为0.5） | nm | ② | |||
误差 |
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| |||
*磁滞 | δxp·hyst | ≤1 | nm |
| |||
*线性度 | δxp·lin | ≤0.1 | ≤0.15 | ≤0.15 | % | ③ | |
重复性 |
| ≤1 | nm |
| |||
注意：
这些参数由各转换器实测并提供的。
DP在Z轴方向能承受的负载。
②、真实位置噪声。
③、满量程的相对误差。
- 测量原理-
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