低电压;
尺寸紧凑;
高强度;
内部预装 - 高拉力;
VAC和UVAC选项;
广泛应用的附件;
显微镜; 波束控制; 自定义闭环系统等
参数 | 符号 | 值 | 单位 | 备注 | ||||
静态参数 |
| |||||||
型号 |
| 15 | 30 | 45 | 75 | 105 |
|
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材料 |
| 不锈钢 |
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长度 |
| 30 | 50 | 70 | 110 | 150 | mm |
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直径 |
| 10 | mm |
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线缆长度 |
| 2000 | mm |
| ||||
*移动范围 | dxp·max | >15 | >30 | >45 | >75 | >105 | um |
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负荷 |
| 10 | Kg | ① | ||||
刚度 |
| 50 | 25 | 16 | 10 | 7 | N/um |
|
电容量 |
| 1.8 | 3.6 | 5.4 | 9.0 | 12.6 | uF |
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动态参数 |
| |||||||
工作温度 |
| +10~+50 | ℃ |
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工作电压 |
| -20~-120 | VDC |
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储存温度 |
| 0~+70 | ℃ |
| ||||
相对湿度 |
| 5~95(无冷凝) | % |
| ||||
误差 |
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| ||||
*磁滞(峰值) | δxp·hyst | ≤13 | % |
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*线性度 | δxp·lin | ≤6 | % | ② |
注意:
*这些参数由各转换器实测并提供的。
①、这是MP在Z轴方向能承受的负载。
②、满量程的相对误差。
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