GWJDN-150型高低温高温介电温谱仪
关键词：高温介电，温谱，平行板电极原理
GWJDN-150型高低温高温介电温谱仪中的测试夹具依据国际标准ASTM D150方法设计，采用平行板电极原理，测试电极由上下电极+保护电极组成。上下电极有良好的同心度和平行度，保护电极可减少周围空气电容的影响，使得测试数据更加准确可靠。
介电温谱仪可测量陶瓷、薄膜、半导体等块状材料，可与WK6500系列、Agilent/keysight E4990A、同惠TH28系列阻抗分析仪集成使用，组成一套集实验方案设计、测量、数据输出、数据分析的三琦高温介电温谱测量系统。可同时测量及输出频率谱、电压谱、偏压谱、温度谱的测量数据与图形。测试频率为DC-30MHz。
系统配置：
（一）、低温模块：
1、系统配置参数
系统采用模块化结构，测试主机、温控系统、信号采集系统、LCR表模块四个分系统分离，易于系统宽展和升级。含测试计算机1台、信号切换与控制系统1台，低温仪含四通道夹具1台、6L液氮罐1个，测试软件1套，
2、性能指标参数
（1）温度区间：低温系统-185℃~260℃；
（2）温度精度：±0.5 ℃
（3）升温速率：1℃/min~10℃/min；
（4）四通道测试夹具：低温夹具为融石英与铍铜镀金探针复合结构夹具，探针压力150g，探针直径小于3mm，探针弹簧行程大于4mm，保证长期测试稳定性；
（5）系统屏蔽：输入端口采用四个BNC端口；输出端口采用10个SMA输出端口，需采用SMA接头以提高高频测试稳定性（频率大于1MHz时）；四通道切换主板采用预埋屏蔽层设计，连接线材采用射频同轴线，保证低频与高频测试精度和稳定性；
（6）测试频率范围：阻抗测试范围20Hz-10MHz, LCR测试范围20Hz-2MHz（请依据系统中匹配的阻抗分析仪或LCR表）
（7）测试频率数量：1~8个
（8）测试样品个数：4个
（9）测试样品直径：1.5 mm~20mm
（10）测试样品厚度：0.02 mm~4mm
（11）测试液氮用量：一次测试液氮使用小于1L；
（12）变温介电频谱测试功能；变温阻抗测试功能；扫频测试功能。
（13）软件：采用C#语言编写，可视化程度高，自动测试。同时显示四通道的测试数据，并图形化。
（二）、高温模块：
1、系统配置参数
系统采用模块化结构，测试主机、温控系统、信号采集系统、LCR表模块四个分系统分离，易于系统宽展和升级。含测试信号切换与控制系统1台，高温仪含四通道测试夹具1台，测试软件1套。
2、性能指标参数
（1）温度区间：室温~1000℃；
（2）温度精度：±0.5 ℃
（3）升温速率：1℃/min~10℃/min；
（4）四通道测试夹具：高温夹具为融石英与探针复合夹具。其中探针为氧化铝与铂金复合结构，芯层为铂金，绝缘层为氧化铝，屏蔽层为铂金并屏蔽至样品端，探针直径小于3.5mm。以保证长期高温测试稳定性。
（5）系统屏蔽：输入端口采用四个BNC端口；输出端口采用10个SMA输出端口，需采用SMA接头以提高高频测试稳定性（频率大于1MHz时）；四通道切换主板采用预埋屏蔽层设计，连接线材采用射频同轴线，保证低频与高频测试精度和稳定性；
（6）测试频率范围：阻抗测试范围20Hz-10MHz, LCR测试范围20Hz-2MHz（请依据系统中匹配的阻抗分析仪或LCR表）
（7）测试频率数量：1~8个
（8）测试样品个数：4个
（9）测试样品直径：1.5 mm~20mm
（10）测试样品厚度：0.02 mm~4mm
（11）变温介电频谱测试功能；变温阻抗测试功能；扫频测试功能。
（12）软件：采用C#语言编写，可视化程度高，自动测试。同时显示四通道的测试数据，并图形化。
