产品简介：
EDIS全自动测量工具显微镜是通元识微光电为专业客户而设计的一款超高测量精度的产品。采用了国/内外的显微镜影像系统、运动控制系统及精密的线性导轨及光栅尺，它可实现XYZ三轴全自动测量，并支持表面光源、轮廓光源及摇杆、电动鼻轮等各种附件。配备的VMA测量软件，具有几何测量、拍照、CNC编程、报表输出等各种核心功能。它广泛的应用于电子元件,精密模具,精密刀具,弹簧,塑胶,橡胶,油封止阀,照相机零件.汽车零件.PCB加工等领域，特别适用于大型半导体晶圆、液晶面板、太阳能基板、大型PCB等行业，实现对产品的拍照、观察、测量等品控要求。
仪器特点：
◆ XYZ三轴CNC控制，全自动测量；
◆ 三轴精密线性滑轨、精密传动系统；
◆ 可程控表面光源，LED轮廓光源；
◆ 自动对焦，支持电动鼻轮；
◆ VMA全自动影像测量软件；
◆ VMZ全功能影像测量软件；
◆ 多种测量行程规格配置。
技术参数：
| 型号 | EDIS2010P | EDIS3020P | EDIS4030P | EDIS5040P | |
| 行程(L×B×H，mm) | 200×100×200 | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 | |
| 结构 | 花岗岩台式 | ||||
| 外部尺寸(L×B×Hmm) | 600×500×1700 | 700×600×1700 | 970×970×1700 | 1070×1100×1700 | |
| 整机重量(kg) | 250 | 300 | 400 | 500 | |
| 承重(kg) | 30 | ||||
| 测量精度 | XY轴 | E2=(2.0+L/200)µm | |||
| Z轴* | E1=(5.0+L/200)µm | ||||
| 速度 | XY轴 | 15m/min | |||
| Z轴 | 5m/min | ||||
| 光栅尺 | 标配：Taiwan Rational 0.001mm分辨率 选配：英国Renishaw 0.001分辨率 | ||||
| 传动方式 | Taiwan TBI XYZ轴精密级滚珠丝杠 | ||||
| 导轨 | Taiwan Hiwin精密级导轨 | ||||
| CCD | SONY 1/3” CCD | ||||
| 光源 | 轮廓光 | China EDIS LED冷光源，256级亮度可调 | |||
| 表面光 | 显微镜同轴光源，256级亮度可调 | ||||
| 光学系统 | 标配：China ICM-100 多镜头金相显微镜（1X/5X/10X/20X） 选配：Japan NIKON 多镜头金相显微镜（1X/5X/10X/20X） | ||||
| 软件 | 标配：EDIS VMA3.00 | ||||
| 运动控制 | Tiger 直流伺服CNC系统 + ADS运控卡+霍尔3维工业摇杆 | ||||
| 仪器桌 | EDIS | ||||
| 计算机 | 研祥(China EVOC)IPC610（研祥 | ||||
| 保修期 | 1年 | ||||
| 工作环境 | 温度20℃±2℃，湿度30～80% | ||||
| 振动<0.002g，低于15Hz | |||||
| 电源 | 220V/50Hz/10A | ||||
