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  • 日立双束聚焦离子束系统NX5000

日立双束聚焦离子束系统NX5000

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具体成交价以合同协议为准
  • 型号
  • 品牌
  • 所在地北京市
  • 更新时间2025-09-04
  • 厂商性质生产厂家
  • 入驻年限1
  • 实名认证已认证
  • 产品数量63
  • 人气值2968
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 日立科学仪器是日立集团旗下日立高新技术有限公司在北京设立的全资子公司。主要产品包括:扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、聚焦离子束(FIB)、原子力显微镜(AFM)等表面科学仪器和前处理设备,以及各类液相色谱(LC)、荧光分光光度计(FL)、紫外分光光度计(UV)、原子吸收分光光度计(AAS)、电化学等分析仪器。为了更好地服务于中国广大的日立客户,公司目前在北京、上海、广州等十几个主要城市设立有分公司、办事处或联络处等分支机构,直接为客户提供快速便捷的、专业优质的各类相关技术咨询、应用支持和售后技术服务。
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简介"Ethos"是一款集高性能与高灵活性于一身的科学仪器,采用高亮度冷场发射电子枪和电磁复合透镜,支持低加速电压下的高分辨观察和实时FIB加工
日立双束聚焦离子束系统NX5000 产品详情
简介
"Ethos"是一款集高性能与高灵活性于一身的科学仪器,采用高亮度冷场发射电子枪和电磁复合透镜,支持低加速电压下的高分辨观察和实时FIB加工。配备三个探测器,能够同时获取形貌像和成分衬度像,便于目标物的观察与加工。其超大样品仓兼容多种分析仪器,如EDS和EBSD,并配置超大防振样品台,适合直径达150mm的样品处理。该设备不仅适用于半导体检测,还广泛应用于各类样品的综合分析。核心功能包括双模式SEM镜筒、高通量加工、Micro Sampling System、Triple Beam System等,以实现高精度和低损伤加工。

  

高性能与高灵活性兼备

“Ethos”采用日立高新的核心技术--的高亮度冷场发射电子枪及新研发的电磁复合透镜,不但可以在低加速电压下实现高分辨观察,还可以在FIB加工时实现实时观察。
SEM镜筒内标配3个探测器,可同时观察到二次电子信号的形貌像以及背散射电子信号的成分衬度像;可非常方便的帮助FIB找寻到纳米尺度的目标物,对其观察以及加工分析。
另外,全新设计的超大样品仓设置了多个附件接口,可安装EDS*1和EBSD*2等各种分析仪器。而且NX5000标配超大防振样品台,可全面加工并观察直径为150mm的样品。
因此,它不仅可以用于半导体器件的检测,而且还可以用于从生物到钢铁磁性材料等各种样品的综合分析。

  • *1

  • Energy Dispersive x-ray Spectrometer(能谱仪(EDS))

  • *2

  • Electron Backscatter Diffraction(电子背散射衍射(EBSD))

 

核心理念

1. 搭载两种透镜模式的高性能SEM镜筒

  • HR模式下可实现高分辨观察(半内透镜)

  • FF模式下可实现高精度加工终点检测(Timesharing Mode)

2. 高通量加工

  • 可通过高电流密度FIB实现快速加工(束流100nA)

  • 用户可根据自身需求设定加工步骤

3. Micro Sampling System*3

  • 运用ACE技术(加工位置调整)抑制Curtaining效应

  • 控制离子束的入射角度,制备厚度均匀的薄膜样品

4. 实现低损伤加工的Triple Beam System*3

  • 采用低加速(Ar/Xe)离子束,实现低损伤加工

  • 去除镓污染

5. 样品仓与样品台适用于各种样品分析

  • 多接口样品仓(大小接口)

  • 超大防振样品台(150 mm□)

  • *3

  • 选配


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