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  • 高分辨热场发射扫描电镜 SU3900/SU3800 SE Series

高分辨热场发射扫描电镜 SU3900/SU3800 SE Series

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面议
具体成交价以合同协议为准
  • 型号
  • 品牌
  • 所在地北京市
  • 更新时间2025-09-04
  • 厂商性质生产厂家
  • 入驻年限1
  • 实名认证已认证
  • 产品数量63
  • 人气值3049
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 日立科学仪器是日立集团旗下日立高新技术有限公司在北京设立的全资子公司。主要产品包括:扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、聚焦离子束(FIB)、原子力显微镜(AFM)等表面科学仪器和前处理设备,以及各类液相色谱(LC)、荧光分光光度计(FL)、紫外分光光度计(UV)、原子吸收分光光度计(AAS)、电化学等分析仪器。为了更好地服务于中国广大的日立客户,公司目前在北京、上海、广州等十几个主要城市设立有分公司、办事处或联络处等分支机构,直接为客户提供快速便捷的、专业优质的各类相关技术咨询、应用支持和售后技术服务。
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简介SU3900/SU3800SE系列FE-SEM产品具备超高分辨率和观察能力,突破了传统SEM产品的样品尺寸与重量限制
高分辨热场发射扫描电镜 SU3900/SU3800 SE Series 产品详情
简介
SU3900/SU3800 SE系列FE-SEM产品具备超高分辨率和观察能力,突破了传统SEM产品的样品尺寸与重量限制。该系列适用于钢铁、汽车、航空航天等超大、超重样品的观察,提供四种型号以满足不同需求。其热场电子枪可在高低加速电压下获得高分辨率图像,并能观察样品表面细节。此外,该系列支持低真空模式,配备大样品仓和多种探测器,实现多角度观察。自动化功能简化操作流程,提高效率。该设备广泛应用于材料形貌评价、微观结构控制和缺陷分析等领域。


SU3900/SU3800 SE系列作为FE-SEM产品,配置超高分辨率与观察能力。此系列突破了传统SEM产品受安装样品尺寸与重量的限制,通过简单的操作即可实现数据采集。可用于钢铁等工业材料,汽车、航空航天部件等超大、超重样品的观察。


此外,SE系列包括4种型号(两种类型,两个等级),满足众多领域的测试需求。用户可以根据实际用途(如微观结构控制:用于改善电子元件、半导体等材料的功能和性能;异物、缺陷分析:用于提高产品品质)选择适合的产品。



产品特点:


热场SEM支持低真空,搭载超大样品仓,可扩展实现更多功能


电子显微镜是进行材料形貌评价与分析的重要手段,而且直接观察样品的需求很常见。
SU3900/SU3800SE系列搭载牢固的多用途样品仓,对于非导电性样品,无需进行导电处理(金属镀膜);对于超大超重样品,无需进行切割等破环处理,可以直接安装到样品台,实现样品的多角度观察。


【SU3900SE/SE Plus】  


       

     ф300mm晶圆安装示例                                        在使用样品交换仓时

                                                                                                   也可以安装高度45mm的样品。


         130mm 高金属配件安装示例


具有更高的分辨率和样品极表面信息观察的能力


此系列搭载新开发的热场电子枪,在高、低加速电压条件下,均可获得超高分辨率图像。

型号(SE Plus)可以满足对样品极表面的观察需求。


并且,标配的低电压高灵敏度背散射电子探测器,可以获取高质量的样品成分和凹凸信息。

SE系列的探测系统,通过选配的UVD探测器,还可以获得样品多种类型信息,实现多种模式观察。



自动化、辅助功能让操作更便捷


SU3900/SU3800 SE系列配备自动光学系统调整功能,可大量简化操作流程。

此外,使用选配功能【EM Flow Creator】,可以自动连续获取图像。

将条件设置(如放大倍率,样品台位置等)、调整对焦/对比度等SEM功能转化为可组合的模块,生成一系列观察程序。每个客户都可以创建自己的观察程序。

通过拖拽模块,可以像流程表一样创建程序。通过执行创建的程序,即可实现自动观察。



①确定指定区域,以×300倍率拍摄低倍图像

②以×1,000 拍摄同一区域的中倍图像

③以×5,000 拍摄同一区域的高倍图像


应用案例


金属

                                                                                            

铁丝断面                                                  

可以确认韧性断裂引起的微小孔洞


电子元件

                                                                                

电路板                                                                                                多层陶瓷电容器横截面

通过低倍率、高倾斜观察,可以确认贴装元件的立体形状及位置            可以观察到镍电极/电介质层的成分和晶体衬度


无机材料

                                                                                                     

氧化锌颗粒                                                                                     高熵硬质合金薄膜

可以观察到50 nm 左右的细小颗粒及立体形状                                 可以观察到不同成分/形状的多个颗粒的分布


电池材料

                                                                                                           

锂离子电池正极材料                                                                           锂离子电池负极材料

可以观察到正极材料颗粒与周围粘合剂的分布                                      可以观察到负极材料最表面的粘合剂


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