产品名称:氧化锆微量氧分析仪
产品型号:Gasboard-3052
产品概述
氧化锆微量氧分析仪Gasboard-3052基于极限电流型氧化锆传感器技术,实现工业过程中ppm级别氧浓度的测量,具有测量精度高、响应速度快、稳定性好等特点,可应用于半导体制造、空气分离、惰性气体焊接等领域,为关键的过程控制应用程序提供可靠的性能。产品采用紧凑型模块化设计,体积小巧,便于在复杂工况下安装,同时配备直观丰富的用户界面,提供人机交互体验。
产品特性
1)测量精度高,ppm级别测量
2)响应速度快,秒级出数
3)产品稳定性好,无需定期校准
4)紧凑型模块化设计,体积小,安装方便
5)人机交互强,显示内容丰富、直观,操作方便
6)抗干扰能力强,对其他气体的交叉敏感性低
7)报警功能:当氧气浓度偏离报警值时将发出报警,报警值可调
应用领域
①半导体、LED等生产过程中氧浓度控制。
②惰性保护气体生产及焊接工艺中氧浓度监测。
③空气分离加工工艺中氧浓度测定。
④真空手套箱系统中氧含量的监控。
技术参数
测量原理 | 极限电流型氧化锆法 |
量程范围 | 0~10ppm;0~100ppm;0~1000ppm;自动切换 |
测量精度 | ≤±2%F.S. |
分辨率 | 0.1ppm |
响应时间 | T90≤10s |
工作温度 | 0~50℃ |
相对湿度 | 0~95%RH |
模拟电流输出 | 4~20mA |
模拟电压输出 | 0~1,0~5,0~10 V DC |
报警输出 | 2路报警,1路故障报警 |
通讯接口 | RS-232,RS-485 |
电源 | 220VAC |
产品尺寸(mm) | 仪表(L*W*H):178*107*95;传感器(D*L):38.1*71.5 |