项 目 | 单位 | DM-300B | DM-450A | DM-450C | DM-700C | |
镀膜室(内径×高) | mm | φ300×450 | φ450×540 | φ450×540 | φ700×780 | |
可镀工件直径 | mm | φ180 | φ320 | φ320 | φ600 | |
极 限 压 力 | pa | 5×10-4 | 5×10-4 | 5×10-4 | 5×10-4 | |
恢复真空抽气时间(从大气抽至2×10-3 pa | min | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ≤30 | |
蒸发 | 电 极 对 数 | -- | 4 | 4 | 4 | 4 |
名 义 功 率 | kW | 1.5 | 1.5 | 2.5 | 2.5 | |
总 功 率 | kW | 5 | 6.5 | 8 | 15 |