MU400 高性能离子减薄仪（Ion Milling）-仪表网

公司介绍主营产品

上海续波光电技术有限公司是一家专业从事高性能薄膜沉积及处理设备、光电材料、光学软件等产品进口的技术贸易服务型公司，公司至今已与欧美、日本等国家的十余家企业建立了战略合作关系；目前服务于国内从事微电子、半导体、光学、纳米技术等领域的研究所和大学。主要产品包括：溅射、蒸发镀膜仪、离子减薄仪、刻蚀机、等离子处理设备、CVD金刚石沉积设备、激光辅助化学束沉积设备，红外窗口材料、各种功能CVD金刚石产品，光学设计、激光仿真、BSDF/BRDF测量仪、电磁场模拟仿真及测量仪器等模拟设计软件等。

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产品简介在线询价

该设备用于薄膜处理，性能，代表性用户如：法国科学研究中心（CNRS）、意法半导体（ST）

高性能离子减薄仪（Ion Milling）产品详情

系统简单配置如下：

Load lock
真空系统: 机械泵Oil pump/Dry pump + 涡轮分子泵/低温泵/电磁泵

离子枪: DC / RF

均匀性：100 mm衬底 +/- 4%, 刻蚀速率降低均匀性优于+/-2%

衬底尺寸：4英寸衬底（4-12英寸可选），水冷。

终端检测系统：SIMS 或激光干涉仪。

控制方式：全自动电脑控制，半自动或手动控制可选。

详细信息和资料，请！

关键词：激光干涉仪

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