在空气动力学研究试验中,要求安装尺寸小,不扰动流场的压力测试,直径¢3~¢8mm、长度12~25mm 的微型压力传感器。采用 MEMS工艺技术制作的敏感元件和精细设计的微小外型,经过无应力封装,以外形小巧、灵敏度高、输出稳定可靠等优良的动态和静态特性,已广泛用于空气动 力学、流体力学、生物医学等领域。产品特点:
(1) 微型结构体积小重量轻;
(2) 工作温度范围宽;
(3) 优良的动态和静态特性;
2、 量程:0~35Kpa……4Mpa
3、 介质:<¢5mm为无腐蚀不导电的干燥气体;≥¢5mm 为无腐蚀性的气体或液体的测量
4、 供电方式:1~1.5mA恒流源供电
5、 满量程:zui小值 25Mv,典型值 75Mv,zui大值120Mv;
6、 过载能力:200%
7、 精度%FS:0.1、0.25、0.5
8、 工作温度范围:-55℃~100℃
9、 补偿温度范围:0℃~60℃
10、外形尺寸: ¢3 ¢5 ¢8
注:¢5 以内为分体式结构(温度补偿部分在接线后连接)。