该产品是基本于 MEMS工艺技术,采用硅―派勒克斯玻璃静电键合形成的真空参考压力腔 ,经过一系列无应力封装及高精度补偿技术,从而使该产品,以稳定性优良、精度高等突出优点面向市场,适用于各种工装下压力测量与控制。1、产品特点:
(1)不锈钢结构;
(2)MEMS 工艺技术制作敏感元件,采用真空充硅油隔离,不锈钢波纹膜片过渡传递压力;
(3)具有优良的介质兼容性;
(4)适用于对316L 不锈钢*的气体、液体的压力测量;
2、量程:0~50KPa……200MPa
3、供电方式:15~24VDC;
4、输出信号:4~20mA 或0~5V(特殊要求可订制);
5、过载压力:≧150%FS;
6、介质温度:-20~80℃;
7、补偿温度: 0~60℃;
8、贮存温度范围:-40~100℃;