基于 MEMS工艺技术,做到了机械与电子部件的一体化,使器件具有微型,灵敏,稳定可靠,高过载保护和空气阻尼的特点。同时具有尺寸小,重量轻和使用方便等优点。再根据一定的对应关系,得到加速度的量值。它广泛用于振动及地震测试、和空间系统及工业自动化控制等领域。
1、 特点:
(1) 体积小;
(2) 重量轻;
(3) 成本低;
(4) 可靠性高,频率响应高,固有频率可达 15MHZ;
(5)数字化和智能化,可做成频率输出形式能对输出信号进行全数字化处理,消除了因 V/D或 V/F 变化而引入的误差。
2、量程范围:0-25g, 0-50g, 0-100g.
3、输出信号:大于 30 mv(工作电压 5V)
4、自振频率:≥1kHz
5、非线性:< 1%
6、输出阻尼:0.4∼0.9
7、过载能力:≥1000g
8、产品重量:<1 克(不含电缆线)
9、外形尺寸:1cm×1cm×0.4cm