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美国MKS质量流量控制器 MKS 1559A大流量质量流量控制器
MKS 1559型质量流量控制器是专为通用的质量流量 from 20 slm (42.5 cfh) to 200 slm (425 cfh).1 The控制应用的覆盖范围从20 SLM（42.5上下）200 SLM（425比1）。1559型的*的控制阀消除振荡，并提供更好的响应时间相比其他流量控制器。这是可能通过使用一个“平衡力阀门的设计，自动中和线压力引起的内部失衡.控制阀。 1% F.S.重要的操作因素包括快速热身，快速响应时间和1%的评论精度（氮）。这些功能键在zui大限度地减少停机时间和保证正确的气体流被送到你的过程，在正确的时间。1559型具有优良的RFI保护，和有噪声的安全保护功能在阀门关闭与小于0.2% F.S. MKS命令信号，还提供了一个246,兼容的完整，独立的电源/读出单元，包括类型246，247 and 647.247和647。
美国MKS质量流量控制器 MKS 1559A大流量质量流量控制器优势：
全尺寸范围从20到200的SLM （氮当量）为各种各样的高流量的应用
• “Balanced force” valve design to minimize
•平衡力阀设计zui小化
oscillation due to line pressure
由于线的压力振荡
fluctuations
波动的
• Fast 30 minute warm-up time to minimize
•快30分钟的热身时间减少
expensive production downtime
昂贵的停机时间
• Fast 2 second settling time to achieve
•快2秒的时间来实现
desired flows quickly
所需的迅速流动
• Accepts an external pressure input signal
•接受外部压力输入信号
(0 - 10 VDC) to allow pressure control
（0 -10VDC）
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