MKS 246C单通道质量流量控制器
MKS 247D四通道质量流量控制器
MKS 647C八通道质量流量控制器
MKS质量流量控制器可以用几种MKS电子.模块。这些模块提供电源和设定点信号的质量流量控制器。此外,电子模块提供一个读出的气体流量,气体校正电位器,和远程指示,记录外部输入/输出信号,和控制目的。
流量测量控制
246型单通道,247四通道
Power Supply/Readout
电源/读出The MKS Type 246 and 247 MKS 246型和247个电源/读数
设计的目的是控制和显示任何流量传感器。流量设定点可以调整,通过前面板控制或远程通过后面板246模拟接口。246是一个单声道247 单元和247是一四通道/顺序可选择单读出。
Type 647 Eight-Channel
647型八通道电源/读出647型微机多通道流量/压力控制器具有高达八的气体流量通道和一个压力通道,允许 647独立的或基于比率的气体流量控制。647是技术上的流编程可用,操作简单。成熟的基于微处理器的电子允许几个,标准功能:菜单驱动的数据输入格式,五个可编程的气体的食谱,气体校正因素存储在内存中,所有遥控零能力RS-232 渠道,RS-232通信链路,两个继电器接触每通道,三层的菜单,和optional digital PID.可选的数字PID。
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