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MKS GE250A质量流量控制器
MKS GE250A是通用的弹性密封的MFC，非常适用于大流量质量流量计或质量流量控制器的各种各样要求，流量范围从100-250slm，GE250A MFC设计有获得MKS的热传感器技术与机械设计，有模拟与数字I/O的常用性通讯模式，利用了MKS控制算法，提供设定点的快速和可重复性的响应。GE250A精度为1%，精度控制为2%至满量程，优于很多典型质量流量控制器。
MKS GE250A特点：
快速响应的设定点保证流量的稳定性
严格控制的工艺气体流量精度可以改进工艺的匹配
降低了进气压力（压差）的要求，简化了天然气的供应调控
新的设计降低了整体成本
在很宽的量程范围有精确的流量控制，减少了一个额外的低范围的MFC
设计上很易于集成与操作
通过标准的以太网接口的设备配置和诊断简单。
使用标准的Web浏览器不需要任何特殊的软件
CE认证与RoHS要求
MKS GE250A的技术参数
量程范围：100-250slm
zui大进气口压力：150pisa
正常工作压差：30-55左右（大气压力在出口）
控制范围：2%至
精度：读数的20%到 ±1%
5%到20% ±0.25%
重复性：读数0.5%
工作的环境温度：10-50℃
MKS GE250A的订购资料：
例：型号GE250A013255TBV0010 | 采购序列号 |
大流量质量流量控制器 | GE250A |
校准气体 |
|
氦气He | 001 |
氩气Ar | 004 |
氢气H2 | 007 |
氮气N2 | 013 |
氧气O2 | 015 |
其他气体 | 可选 |
校准流量SLM |
|
250slm | 255 |
装配件 |
|
8 VCR | T |
8 VCO | D |
1/2 tube管 | S |
1/2NPT | M |
电气/通讯连接器 |
|
模拟15针D型（I/O 0-5VDC） | B |
15针D型（4-20mA） | H |
密封 |
|
Viton | V |
Neoprene | N |
Buna N | B |
EPDM | E |
MKS |
|
标准 | 00 |
软件版本 |
|
MKS会安装出厂日期版本 | 10 |
