压电平移台,纳米定位台,压电陶瓷控制器|驱动器,机械封装压电陶瓷技术文章|技术资料第（21）页-哈尔滨芯明天科技有限公司

2019
06-10

微纳3D打印、增材制造与压电纳米定位台！
复杂三维微纳结构在微纳机电系统、生物医疗、组织工程、新材料(超材料、复合材料、光子晶体、功能梯度材料等)、新能源(太阳能电池、微型燃料电池等)、高清显示、微流控器件、微纳光学器件、微纳传感器、微纳电子、生物芯片、光电子和印刷电子等有着巨大的产业需求。现有的诸如光学光刻、电子束光刻、干涉光刻、激光微细加工、软光刻、纳米压印光刻等微纳制造技术主要实现2维的微纳结构(简单几何图形)制造，难以实现复杂真三维微纳结构的制造。微纳尺度3D打印在复杂三维微纳结构、高深宽比微纳结构和复合(多材料)材料微纳结构制
2019
05-27

压电扫描台应用于飞秒激光微加工
现在，各种激光器已经被广泛应用于各个工业及医疗领域，而飞秒激光作为微加工等领域的理想光源，正逐渐引发市场的高度关注。飞秒激光微加工的过程是将被加工的目标元件固定在压电扫描台上，将激光光束聚焦在准备加工的轨迹始端，调节激光能量，按照预先设计好的轨迹移动二维压电扫描台进行加工，由于压电扫描台的分辨率可达到纳米级，精度非常高，所以这能大大提高飞秒激光加工系统的加工精度。飞秒激光结合高精度压电扫描台加工各种材料的微加工方式，作为激光加工技术领域的一个分支越来越受到广泛的关注。其中芯明天自主研发生产的高精
2019
05-27

压电陶瓷促动器应用于超导腔超导谐振腔超导加速器
超导现象早在上世纪初就被荷兰科学家翁内斯(HeikeKamerlinghOnnes)发现了，但利用超导材料制造谐振腔的想法直到50年代才被科学家所提出。超导体具有诸多奇特的物理性质，如无阻载流的能力、一定的抗磁特性、宏观量子相干特性等。而高温超导材料具有其他材料无法相比的电、磁、热等性能，可使应用系统的性能及可靠性大幅提高。因此，高温超导技术也是世界高科技竞争的热点。超导体的工作温度在低于其本身的超导临界温度时才会表现出其超导性能，因此超导体的应用要求严格的温度条件限制。超导谐振腔是超导组元的重
2019
05-22

电容式测微仪的原理分析
电容式测微仪是毫米级测量范围、纳米级测量精度的仪器。测微仪包括电感测微仪、电容测微仪、激光测微仪三种类型，主要用于高精度测量长度、厚度、深度、锥度等应用。在电容微位移测量中，电容位移传感器对微位移的测量越、响应速度越快、非线性越小，整体性能就越好。首先由传感器感受微位移的变化，并将其转换成电容量的变化，然后经过信号转换电路将电容量的变化转换成可测的电压信号，然后利用A/D转换器实现信号的采集，由单片机进行信号的处理和传输。终实时显示，并进行线性拟合给出相关数据。以电容式微位移传感器为基础，利用运
2019
05-20

新品推荐P79系列压电显微样品台
P79系列压电显微样品台为一维Z轴微动平台，主要用于配套宏动XY轴显微扫描台以及市面上压电马达平台使用。当XY轴平台定位样品之后，P79平台可以对其进行Z轴快速精密的聚焦调节，阶跃时间达毫秒量级。产品特点•位移可达110μm•分辨率7nm•闭环重复定位精度高•开/闭环可选产品应用•荧光显微•共焦显微•3D成像•生物科技•自动聚焦系统大通孔、超精密导向机构P79系列压电扫描台，大通孔设计主要是为了满足各种样品结构，如培养皿等。压电陶瓷驱动具有超快的响应速度，Z轴步进速度和稳定时间仅为马达驱动的1/
2019
05-17

芯明天压电纳米位移台
纳米位移台/压电位移台/压电平移台/压电纳米位移台纳米位移台即为可产生纳米级步进位移的位移平台，精度在纳米级。“压电”是指由压电陶瓷作为驱动源，分多种驱动方式，如直驱式、放大机构式、马达式。三者相比，响应速度快的为直驱式结构的压电纳米位移平台，行程较大的是压电马达式压电纳米位移平台，可达毫米、厘米甚至米量级。直驱式机构-压电纳米位移台直驱式机构的压电纳米位移台具有多种外观，如柱形、环形、平台型等。结构如下图所示。柱形更适于单轴运动、单螺纹负载固定、空间受限的应用。而平台型可输出1至3维的位移，适
2019
05-13

N50 系列压电偏摆旋转台用于空间扰动模拟，承载能力达60kg！
N50系列为θx、θz轴偏摆/旋转台，*的承载能力大可承载60kg，偏转角度±0.3mrad。可带载20kg负载高频率使用。产品主要应用于大负载偏摆/旋转运动实验，比如模拟空间扰动实验等。特点•θx,θz偏摆/旋转•偏摆/旋转范围±0.3mrad•大承载60kg•电容闭环定位精度高•响应速度快可定制化大承载、高精度、高频率N50θx、θz二维偏摆/旋转台是专门为空间扰动实验而设计的大承载偏摆系统，具有电容闭环幅值校正功能，可以带60kg负载做精密偏转，大行程为±0.3mrad。N50压电偏转台采
2019
05-13

基于P63压电纳米定位台、SEM及白光干涉仪的纳米切削装置
纳米切削中刀具的纳米级微进给、切削过程的高分辨率观测及加工后的测量都是纳米切削中需要解决的几个重要问题。为解决该系列问题，可通过利用压电纳米定位台、SEM扫描电子显微镜，分别完成刀具纳米级步进及高分辨率观测，加工完成后，再通过白光干涉仪对加工后的尺寸进行测量。其中，刀具的纳米车削进给是采用芯明天P63压电纳米定位台，它的行程为8µm，闭环分辨率可达0.6nm以上。该纳米切削装置的结构及实际安装实物如下图中所示。结构原理图安装结构实物图切削过程通过粗调平台将刀具与待加工件间距离调整至2～3µm，通
2019
05-09

压电陶瓷的主要用途介绍
压电陶瓷用途：1、声音转换器声音转换器是常见的应用之一。像拾音器、传声器、耳机、蜂鸣器、超声波探深仪、声纳、材料的超声波探伤仪等都可以用压电陶瓷做声音转换器。如儿童玩具上的蜂鸣器就是电流通过压电陶瓷的逆压电效应产生振动，而发出人耳可以听得到的声音。压电陶瓷通过电子线路的控制，可产生不同频率的振动，从而发出各种不同的声音。例如电子音乐贺卡，就是通过逆压电效应把交流音频电信号转换为声音信号。2、压电引爆器自从次世界大战中英军发明了坦克，并在法国索姆河的战斗中使用而重创了德军后，坦克在多次战斗中大显身
2019
04-29

军级压电控制器
压电控制器是用来驱动控制压电陶瓷、纳米定位台、压电偏摆镜等产品的仪器，主要用于驱动容性负载。根据结构形式主要分为模块化式、集成式、工业式、板卡式控制器产品，具有模拟、数字、键盘、I/O等多种控制方式；并且，具有开环、闭环、单路、多路多种型号可选，可用于驱动各类压电产品。特点•0~1800V/±900V输出电压范围可选•控制器通道数可达百通道•大功率版本可达400W•可选模拟、数字、键盘、I/O等控制•可选闭环反馈传感功能•可选上位机通信功能•可选模拟输入控制电压•参数、尺寸可定制定制压电控制器部
2019
04-29

XD-301系列大负载二维压电偏转镜
XD-301压电偏转镜是专为大负载及高动态应用而设计，它的偏转角度可达2.8mrad，可承载Φ110×10mm镜片（约245g)。0.2mrad偏转角度的响应时间为2ms，±0.1mrad偏转角度下的使用频率可达250Hz。产品特点•θx,θy二维偏转•大偏转角度2.8mrad•亚毫秒响应时间•闭环定位精度高•温度稳定性高产品应用•图像处理/稳定•隔行扫描，抖动•激光扫描/光束偏转与稳定•光学/扫描显微•光过滤/开关高可靠性及稳定性XD-301系统内部装配带有预紧力的高可靠性压电促动器，被集成在
2019
04-29

物镜聚焦扫描P73系列
P73.Z500系列压电物镜定位器为大行程压电物镜定位器，Z轴直线运动范围可选220μm、550μm，采用柔性铰链设计机构，无摩擦、运动直线性好且闭环型号定位精度高。分离式螺纹适配器设计，可适配多种型号的显微镜，广泛应用于大范围显微成像、双光子显微镜等领域。特点可选行程220μm、550μm•大承载0.4kg•毫秒级响应时间•闭环重复定位精度高•聚焦稳定性好大行程、响应速度快、分辨率高P73压电物镜定位器是大行程、高速、压电陶瓷驱动的聚焦显微扫描装置，产品体积小但可实现的位移高达550μm。P7
2019
04-29

压电物镜聚焦平台XP-721系列
XP-721系列为小体积常规型压电物镜定位器，采用分离式螺纹适配器设计，可与多种显微镜配套使用。特点•大行程110μm•大承载200g•毫秒级响应时间•闭环重复定位精度高•聚焦稳定性好典型应用•三维成像•干涉/计量•表面结构分析•共焦显微•生物科技•半导体测试螺纹适配器便于安装XP-721系列物镜定位器与物镜之间通过适配器连接，将物镜快速锁定在预期位置。多种螺纹牙可选，如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于与显微镜集成安
2019
04-29

压电陶瓷式物镜驱动器P76系列
P76系列压电物镜定位器为大负载Z轴运动压电物镜定位器，负载能力可达500g，Z轴直线运动范围可达110μm，采用柔性铰链设计机构，无摩擦，直线性好，闭环型号定位精度高。分离式螺纹适配器设计，可适配多种型号的显微镜。特点•大行程110μm•大承载500g•毫秒级响应时间•闭环重复定位精度高•聚焦稳定性好大负载、高频响、高分辨率P76纳米扫描聚焦系统的设计是为了大负载、大孔径物镜在现代高分辨率显微应用中达到快的阶跃时间。它极其坚固的设计提供了非常快的稳定时间及扫描频率，即使带载几百克的物镜时。多个
2019
04-23

电感测微仪的检测方法说明
电感测微仪检测方法1、色码电感器的的检测将万用表置于R×1挡，红、黑表笔各接色码电感器的任一引出端，此时指针应向右摆动。根据测出的电阻值大小，可具体分下述三种情况进行鉴别：（1）被测色码电感器电阻值为零，其内部有短路性故障。（2）被测色码电感器直流电阻值的大小与绕制电感器线圈所用的漆包线径、绕制圈数有直接关系，只要能测出电阻值，则可认为被测色码电感器是正常的。2、中周变压器的检测（1）将万用表拨至R×1挡，按照中周变压器的各绕组引脚排列规律，逐一检查各绕组的通断情况，进而判断其是否正常。（2）检
2019
04-23

压电物镜聚焦台P72系列
P72系列压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的Z轴运动压电物镜定位器，采用无回差柔性铰链并联导向机构设计，物镜补偿量较小，具有超高聚焦稳定性，物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动物镜头聚焦提高精度，可与多种高分辨率的显微镜配合使用。特点：大行程110μm•大承载0.2kg•毫秒级响应时间•闭环重复定位精度高•开环/闭环可选典型应用：•三维成像•干涉/计量•表面结构分析•共焦显微•生物科技•半导体测试螺纹适配器便于安装P72物镜定位器与物镜之间通过适配器连接，将物镜快速锁定在预期
2019
04-22

压电促动器应用于笼式结构白光干涉
压电促动器具有纳米级分辨率、亚毫秒级响应速度等特点，并且压电促动器及其控制器的体积小巧，非常易于集成至笼式结构中，进行快速及高精度的光学路径调整。笼式结构白光干涉仪的体积小巧，将芯明天7VS12压电促动器及USB式压电控制器集成于该设备中，可对白光中含有的各种光波长的干涉做快速扫描。7VS12压电促动器参数：•位移：9µm•直径：12mm•谐振频率：40kHzE63USB式压电控制器参数：•USB供电•上位机软件直观控制•输出电压：150V压电促动器分开环与闭环两种版本，其中开环版本适用于动态快
2019
04-22

P66.X60一维压电纳米定位台
P66.X60压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源并采用直驱式驱动机构的压电位移平台，是压电与柔性铰链相结合的纳米定位系统，可达毫秒级响应、纳米级定位精度，并可选配高精度传感器进行闭环精密定位控制。该产品非常适于定位应用，如干涉中光路径长度修正、显微或扫描应用中的样品定位等。产品特点•一维X轴运动•位移行程68μm•承载可达6kg•开闭环可选•亚毫秒响应时间典型应用•干涉/扫描•计量•质量保证测试•微加工/精密控制•光盘驱动测试•半导体技术开闭环版本可选P66系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本
2019
04-15

P17系列大行程二维压电扫描台
P17系列压电扫描台是专门为需要大通光孔径、大位移行程的应用而研发设计的二维扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现XY轴210μm的扫描范围，通光孔为60×60mm，在样品精密定位、扫描显微、干涉等领域得到了广泛的应用。产品特点•位移可达210μm•承载可达1kg•通孔尺寸60×60mm•闭环重复定位精度高•响应速度快产品应用•图像处理与稳定•扫描显微•干涉/测量•表面检测•晶圆定位/微操作大行程、响应速度快P17系列压电扫描台为压电陶瓷驱动快速、高精度扫描台，可以实现
2019
04-15

P77.D6小体积压电移相器
P77.D6压电式移相器是专为光学检测移相应用而设计的，中心通孔直径为65mm，正立、侧卧、倒置使用的承载能力分别可达5kg、2kg、3kg。采用压电陶瓷直驱式结构，保证了出力性能，同时内部优化的机械结构设计，对压电陶瓷也起到了的保护作用，确保了使用寿命。产品特点•一维Z向运动•行程可达17μm•承载可达5kg•通孔直径：65mm•可正立/倒置/侧卧使用典型应用•显微成像•表面检测•干涉/测量•精密定位•移相器•光学捕获高精度、大承载P77.D6系列压电移相器采用优异的柔性铰链导向机构设计，利用

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