压电平移台,纳米定位台,压电陶瓷控制器|驱动器,机械封装压电陶瓷技术文章|技术资料第（3）页-哈尔滨芯明天科技有限公司

2024
02-23

新品推荐|XD605.X90一维大负载电容传感压电纳米定位台及配套电容闭环控制器
新年伊始，万象更新。芯明天持续深挖行业需求，攻克技术壁垒，推陈出新，为客户解决一个又一个精密定位技术的难题。本次为大家介绍一款一维大负载电容传感压电纳米定位台-XD605.X90。产品外观如下图所示。X向运动、大负载XD605.X90可实现一维X向直线运动，行程可达到95μm，负载可达10kg，分辨率可达3nm，为大负载应用提供更优质的解决方案。电容式传感器XD605.X90闭环版本采用电容传感，闭环线性度可达0.021%F.S.，闭环重复定位精度可达0.005%F.S.，由于电容式传感器是根据
2024
02-21

新品推荐|N61.E/K56-B 360°双向旋转压电马达
在科研和工业领域对于高精密运动与控制应用的需求下，压电马达以小体积、大行程、高精度的优势脱颖而出。压电马达工作原理是利用压电陶瓷的逆压电效应产生的微位移转换为机械平面的宏观直线或者角度运动，可广泛应用于半导体技术、光学仪器设备、医疗生物技术、精密加工设备、航空航天等领域。本次为大家推荐一款360°双向旋转压电马达，它的型号是N61.E/K56-B。它是由压电陶瓷驱动的压电步进直驱马达，利用特殊机械结构设计，可产生360°双向旋转运动，旋转分辨率可达1μrad。它的外观很薄，且底部凹槽式设计，非常
2024
01-04

小体积耐高温大出力密封型压电陶瓷促动器
封装式压电陶瓷促动器是将叠堆式压电陶瓷与柔性铰链支撑及外壳组合设计成一体结构，具有体积小、位移分辨率高、响应速度快等特点，非常适用于机床、主动振动绝缘、自适应力学、扫描显微、激光调谐等应用。因其外部壳体设计对叠堆压电陶瓷不能承受拉力的缺点进行补偿，所以封装式压电陶瓷促动器的稳定性更强，更适用于其他特殊环境使用。本次给大家介绍芯明天提供的一系列具有小体积、耐高温、大出力密封型压电陶瓷促动器。它利用压电纵向效应将电能转化为位移或力等机械能的原理，基于**的元件结构设计和具有高电致伸缩系数的压电陶瓷材
2023
12-18

基于压电纳米定位台的微米级精确操控技术
在当今的科技领域，精确操控技术对于各种应用都至关重要。其中，基于压电纳米定位台的微米级精确操控技术以其较好的性能和广泛的应用而备受关注。压电纳米定位台是一种高精度的运动平台，它利用压电材料的特性来实现纳米级的位置控制。这种技术具有较高的定位精度和稳定性，使得它在许多领域都有广泛的应用。在微电子制造领域，基于压电纳米定位台的微米级精确操控技术被用于精密光刻和蚀刻工艺中。通过这种技术，可以将芯片上的电路图案以较高的精度刻画出来，从而实现更小的晶体管尺寸和更高的集成度。此外，这种技术还可以用于制造更先
2023
12-14

飞秒激光刻蚀中压电纳米扫描台的应用！
什么是飞秒激光飞秒激光是人类在实验室条件下所能获得最短脉冲的技术手段，是一种以脉冲形式运转的激光，持续时间非常短，只有几个飞秒（英语为femtosecond，简写为fs，1飞秒为1秒的一千万亿分之一），它比利用电子学方法所获得的最短脉冲要短几千倍。飞秒激光技术是近年来发展迅速的一种先进加工技术，具有*高的加工精度和速度，可以在各种材料表面进行微米至纳米级别的刻蚀和加工。飞秒激光的特点1、飞秒激光是我们人类在实验条件下能够获得的最短脉冲，它的精确度是±5微米;2、飞秒激光有非常高的瞬间功率，它的瞬
2023
12-11

基于压电偏转镜的精密光学调控技术
精密光学调控技术在许多领域都有广泛的应用，例如科学研究、工业生产、医疗诊断等。在这些领域中，对光学系统的精度和稳定性要求非常高，而基于压电偏转镜的精密光学调控技术则可以满足这些要求。压电偏转镜是一种利用压电效应控制反射镜片偏转的装置。通过这种技术，可以将微小的电压信号转化为反射镜片的偏转，从而实现光路的精确控制。这种技术具有高精度、高稳定性、高响应速度等优点，因此在精密光学调控领域具有广泛的应用前景。在基于其精密光学调控技术中，首先需要选择合适的压电陶瓷材料作为反射镜片的基础材料。这种材料需要具
2023
12-07

Z向运动大承载压电扫描台 - P70.Z200系列
P70.Z200系列压电扫描台是一款兼具小体积、大行程、大负载特点的Z向运动一维压电扫描台。它采用机构放大原理，无摩擦柔性铰链导向机构内置高可靠性压电陶瓷驱动，具有中心通孔设计，可带动物镜或样品实现纳米级精度的Z向升降运动，行程可达到200μm，承载可达500g。其内置传感器通过全桥方式连接，无漂移，可以实现在纳米范围内精确定位，闭环分辨率6nm，重复定位精度达0.02%F.S.。产品在显微成像、光学检测、生物科技、图像处理等领域广泛应用。小体积中心通孔设计P70.Z200系列压电扫描台体积非常
2023
11-24

压电纳米运动产品在半导体薄膜沉积设备中的应用
随着半导体行业的不断发展，半导体芯片制造工业不断推进，其工艺的水平直接决定了芯片生产的质量和效率。薄膜沉积是芯片制造前道工艺中的核心工艺之一，是决定薄膜性能的关键。其作用是通过物理或化学的方法将金属薄膜（如铝、铜、钨、钛等）和氧化物（如二氧化硅、氮化硅）等材料重复堆叠沉积在晶圆表面，薄膜的厚度范围在纳米级到微米级，在这些薄膜上可以进行光刻、刻蚀等工艺，最终形成各层电路结构。薄膜沉积设备按照工艺原理不同可分为PVD、CVD及ALD设备，分别对应物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）和原子层
2023
11-22

纳米定位台在纳米机器人导航中的运用与发展
随着科技的不断发展，纳米定位台在纳米机器人导航中的应用也日益广泛。纳米定位台是一种能够实现纳米级精度的定位设备，其具有高分辨率和高稳定性等特点，因此在纳米机器人的导航中具有重要的作用。在纳米机器人的导航中，该定位台主要应用于以下几个方面：一、精确定位该定位台能够实现纳米级的定位精度，因此在纳米机器人的导航中可以为其提供精确的坐标信息。通过将该定位台与纳米机器人的控制系统相结合，可以实现高精度的路径规划和姿态控制，从而提高纳米机器人的运动精度和导航精度。二、实时监测该定位台还可以实时监测纳米机器人
2023
11-15

适用于自适应光学、批量相位调制、表面整形应用的级联式压电控制器！
模块化E70系列压电陶瓷控制器是一款大功率、低功耗、高带宽、低纹波噪声的压电陶瓷控制器。该控制器采用专用运放电路保证了高压大电流的输出能力，通过优化传感伺服模块从而提高了PI调节与控制的精准度与稳定性，可靠的抗干扰设计保证了控制器的高频响应速度。模块化E70系列压电陶瓷控制器可根据用户使用需求自由选择级联的模块数，单个模块通道数为3通道/模块，最多可级联32个模块。控制器采用DC24V供电，可通过外部模拟信号或RS-422接口数字通信进行控制、开/闭环可选、集成式PZT&sensor迷你接口便于
2023
11-11

压电物镜扫描器的制造工艺及材料需求
压电物镜扫描器是一种高精度、高稳定的扫描装置，常用于激光加工、光学通信、光学检测等领域。制造压电物镜扫描器需要精细的制造工艺和合适的材料需求。压电物镜扫描器的制造工艺：1.选材：选择具有高稳定性和高灵敏度的材料，如单晶硅、石英等。2.加工：采用超精密机械加工技术，将选定的材料加工成所需形状和尺寸。3.表面处理：对加工后的表面进行抛光和镀膜处理，以提高扫描器的精度和稳定性。4.组装：将加工好的元件进行组装，确保各部分配合良好，无松动现象。5.调试：对组装好的扫描器进行调试，确保其达到预期的扫描效果
2023
11-08

N56系列直线压电马达，可选1至6维运动，行程可达50mm！
N56系列直线压电马达是采用压电微驱动技术，即利用压电微位移致动器实现高精度定位和运动的技术，将压电陶瓷在一定电场作用下的微变形量，经过结构转换，输出宏动直线毫米级行程。直线压电马达原理N56系列压电马达具有小体积、高精度、大行程等优势。它的行程可达50mm，速度可达3mm/s，分辨率可达0.05μm，具有断电自锁功能。可选配光栅传感器作为闭环控制传感器，完成高精度定位。该系列还具有适用于在真空环境中使用的真空版本。同时，芯明天还可提供定制服务，以满足各类行程、精度要求。N56系列压电马达特点/
2023
11-01

新品|N11.X3.5KZ真空版超小体积直线压电马达
压电马达是由压电陶瓷作为驱动马达，利用特殊机械结构设计，将压电陶瓷产生的直线微位移转换为机械平面的宏观直线（或角度）运动，行程可达几十毫米（或360°），根据运动方式可分为直线压电马达和旋转压电马达。在当今工业和高科技领域对高精密自动化控制的需求下，压电马达由于大行程、高精度、小体积等优势，广泛应用于半导体技术、光学仪器设备、医疗生物显微设备、精密加工设备、航空航天等领域。本次给大家介绍一款真空版超小体积直线压电马达，型号是N11.X3.5KZ。它采用粘滑原理，将PZT压电陶瓷的微运动转换为毫米
2023
10-26

新品推荐|XD505.T0S大负载二维压电偏摆台
芯明天压电偏摆/旋转台是通过压电陶瓷驱动进行精密角度调整，内部采用无回差柔性铰链并联结构设计，确保了产品具有较高的偏转精度和稳定性，可产生θx、θy偏摆或θz旋转，或同时配有直线运动，且响应速度快。在半导体技术、通信与集成光学、光学仪器设备、医疗生物显微设备、航空航天等高精度定位系统中广泛应用。芯明天压电偏摆/旋转台XD505.T0S是由芯明天研发设计的一款大负载的二维偏摆台,可产生θx、θy两轴偏转。它的承载能力可达20kg，负载后仍可高动态、高精度运动，配置闭环传感器，分辨率0.01μrad
2023
10-20

机械封装压电陶瓷具有以下主要特点和应用
机械封装压电陶瓷是一种基于压电效应的传感器或执行器元件。它的结构由两个电极与一个压电陶瓷片组成，常采用环氧树脂机械封装。当加上外部电场时，压电陶瓷片会变形产生应力或位移；相反地，当外部施加力或应变时，压电陶瓷片也会产生电荷或电压。因为具有壳体封装，保护压电陶瓷不易受外界的操作而造成损坏，不易收到有机物的侵蚀，具有螺纹孔易于安装，可选择内置高精度传感器实现闭环控制。优异的结构设计有效的消除外部机械结构可能造成的损坏。机械封装压电陶瓷具有以下主要特点和应用：高灵敏度：具有高灵敏度、高分辨率和高精度的
2023
10-20

S30.T2SF小体积压电偏转镜
芯明天压电偏转镜具有体积小、响应速度快、精度高、可定制等特点，可在许多光学系统中广泛应用，从科研到工业，再到宇航，如光路调节、激光通信、激光稳定、材料加工等。今天为大家介绍一款S30.T2SF小体积压电偏转镜。它是一款二维压电偏转镜，它的偏转角度可达3或±1.5mrad/轴，空载谐振频率可达15kHz，分辨率0.1μrad，增加了腰部固定方式，更灵活，非常适于高动态应用。产品特点•超小体积•纳弧度级分辨率•空载谐振频率达15kHz•高动态•易集成产品应用图像处理与稳定、激光扫描/光束偏转、主动及
2023
10-08

机械封装压电陶瓷为各种应用提供高性能和可靠的解决方案
机械封装压电陶瓷适用于科学实验以及工业应用。叠堆压电陶瓷包含方形及环形两种外形结构，多种尺寸及位移可满足不同应用的需求。压电陶瓷的应用十分广泛。例如超声波探测仪、压电驱动器、压电打火器、压电转换器、压电陶瓷电扇、压电式触屏、超声波倒车雷达、压电陶瓷继电器等等都是运用了压电陶瓷。我司一般用PZT-4、PZT-8的压电陶瓷，因为这两类具有较高的机电转换效率，适于大功率超声发生器超声加工、超声清洗换能元件。特殊的绝缘材料确保在严苛的条件下动态性能大输出。压电陶瓷体积小巧，易集成。机械封装压电陶瓷是一种
2023
09-28

E00A02V050F10M功率放大器，带宽达10MHz！
功率放大器是内部具有电压与功率放大电路，可将微弱的外部模拟输入信号或计算机通过DA给出的模拟信号或其他的控制信号进行放大、输出的放大器。由芯明天研发生产的E00A02V050F10M功率放大器，它的输出带宽可达10MHz，且增益可调；可键盘操作及触控操作；具有上位机通信功能，并可选配信号发生器功能；参数可定制。产品特点输出带宽可达10MHz输出电压达50V增益可调，0.05步进可选信号发生器功能参数可定制典型应用科研实验驱动压电陶瓷驱动压电换能器驱动晶体大功率应用面板介绍前面板编号功能描述1Me
2023
09-20

80A14机构放大式压电促动器
机构放大式压电促动器是通过叠堆式压电陶瓷进行机构设计，与柔性铰链支撑结构、放大结构及外壳结构组合成一体，将压电陶瓷的直线位移进行放大，并在其位移的垂直方向进行输出的促动器，且具有微位移分辨率高、稳定性强等特点。与直驱压电促动器相比，在相同条件下，机构放大式压电促动器产生的位移更大，出力会相对小。由芯明天研发生产的80A14机构放大式压电促动器，是利用钢制外椭圆形机械放大结构设计，既可以对压电叠堆陶瓷提供优化预紧力，也可起到保护作用，避免内部压电叠堆陶瓷承受过大的拉力导致损坏。80A14机构放大式
2023
09-15

芯明天小体积超精密电容式传感器、电容测微仪！
高精度测微仪是具有微米或毫米级测量范围、纳米级测量精度的仪器，分为电感式、电容式、激光式。主要用于高精度长度（深度、高度、厚度、直径、锥度）测量、振动测量、微位移检测等，在航天、航空、汽车、机床、光学器件加工、半导体及其它工业测控等领域广泛应用。本次为大家带来一款芯明天小体积超精密电容式传感器。它由两部分组成，分别为电容探头及控制盒。电容探头为非接触式，尺寸为Φ10mm×18.5mm，通过电容测头可以测量0~500μm范围内的微小位移，测量分辨率可达1.25nm。控制盒尺寸仅有105×26×66

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