压电平移台,纳米定位台,压电陶瓷控制器|驱动器,机械封装压电陶瓷技术文章|技术资料第（6）页-哈尔滨芯明天科技有限公司

2022
10-13

PZT压电陶瓷管可将光纤拉伸多长？我们通过实验来证明
PZT压电陶瓷是一种由锆钛酸铅材料进行烧结制成的一种容性器件，它可在电压驱动下产生形变位移，并且在受外力的作用下，可产生一定的电荷能量，即它具有正压电效应和逆压电效应。压电陶瓷管工作原理压电陶瓷管是一种管状的压电陶瓷，它与常见的片状压电陶瓷类似。压电陶瓷管的内径表面和外径表面印刷有导电电极，一般为银电极。除了内外表面外，内部材料均为PZT压电陶瓷。因此，它一样具有压电效应，在对内外电极施加电压时，压电陶瓷管会产生径向伸缩的位移。压电陶瓷管结构压电陶瓷管拉伸光纤实验为了解压电陶瓷管能够将光纤拉伸多
2022
10-13

PZT压电陶瓷管可将光纤拉伸实验
PZT压电陶瓷是一种由锆钛酸铅材料进行烧结制成的一种容性器件，它可在电压驱动下产生形变位移，并且在受外力的作用下，可产生一定的电荷能量，即它具有正压电效应和逆压电效应。压电陶瓷管工作原理压电陶瓷管是一种管状的压电陶瓷，它与常见的片状压电陶瓷类似。压电陶瓷管的内径表面和外径表面印刷有导电电极，一般为银电极。除了内外表面外，内部材料均为PZT压电陶瓷。因此，它一样具有压电效应，在对内外电极施加电压时，压电陶瓷管会产生径向伸缩的位移。压电陶瓷管结构压电陶瓷管拉伸光纤实验为了解压电陶瓷管能够将光纤拉伸多
2022
09-29

压电纳米运动产品在光刻机中的应用
随着信息技术的飞速发展，各行业对芯片的要求越来越高，要求高速、纳米级超小尺寸、低功耗、低时延等，而这些要求都对微电子制造装备的性能和精度提出了更高层次的要求。微电子制造装备流程微电子制造的流程非常繁琐，从原材料开始，要经过很多道复杂的工序才能得到最终可使用的芯片。大致流程如下。1.加法工艺1.1掺杂（扩散、离子注入）对应设备：扩散炉、离子注入机、退火炉1.2薄膜（氧化、化学气相淀积、溅射、外延）对应设备：氧化炉、CVD反应炉、溅射镀膜机、外延设备2.减法工艺刻蚀（湿法刻蚀、干法刻蚀）对应设备：湿
2022
09-14

芯明天E00/E01.A系列高压放大器，用于驱动MFC压电纤维陶瓷片
根据压电陶瓷的逆压电效应，压电陶瓷在电场的作用下会产生微位移。目前常用的压电驱动控制器采用的主要是电压驱动控制的方式，根据压电陶瓷位移与其两端电压呈近似线性关系的原理，通过精确控制压电陶瓷两端驱动电压的大小以达到对位移的精密操控。压电驱动控制器根据其输出的电压大小可以分为：低压控制器与高压控制器。低压控制器适合驱动单层陶瓷片和叠堆陶瓷等，其电压范围-20V~150V。高压控制器适合驱动高压叠堆陶瓷以及MFC压电纤维陶瓷片，其电压范围可达-500V~1500V。MFC压电纤维陶瓷片MFC压电纤维陶
2022
09-08

压电技术在TDLAS气体检测中的应用
气体检测仪是一种常用的气体浓度检测仪器，主要利用气体传感器来检测环境中的气体种类，它可检测硫化氢、一氧化碳、氧气、二氧化硫、磷化氢、氨气、二氧化氮、氰化氢、氯气、二氧化氯、臭氧和可燃气体等多种气体，广泛应用在石化、煤炭、冶金、化工、市政燃气、环境监测、农业等多种场所现场检测。此外，它也可以实现特殊场合测量需要，可对坑道、管道、罐体、密闭空间等进行气体浓度探测或泄漏探测。可调谐二极管激光吸收光谱（TDLAS，TunableDiodeLaserAbsorptionSpectroscopy）是一种使用
2022
08-31

芯明天压电偏摆台的优势与选型
芯明天软件控制压电控制器是指通过上位机软件控制，具有功率放大功能，且输出电压、输出频率可调，具有操作方便、数据精准、软件支持二次开发等优点。用于驱动控制压电纳米定位产品，如压电促动器、压电纳米定位台、压电物镜定位器、压电偏转镜、压电偏摆台等。激光束偏转及其扫描在半导体加工、军事探测、航空航天、生物医学、纳米科学研究等领域得到了越来越多的应用，同时对其性能要求也越来越高，受其体积，扫描频率，扫描精度，扫描分辨率等诸多因素的制约。通过我公司压电快速偏摆台可**的解决以上问题。基于压电陶瓷驱动器的快速
2022
08-17

什么是宏微复合式压电移相器？
什么是宏微复合式压电移相器？压电式移相器介绍压电式移相器（也称压电陶瓷移相器），是基于压电陶瓷设计并通过驱动压电陶瓷产生微运动来实现移相功能的，在电压信号的控制下产生纳米级步进运动，完成干涉中要求的微小移相运动。移相干涉技术(phaseshiftinginterferometry)是一种利用干涉图对光学元件进行测量的技术，其中核心部件为移相器，一般常用微位移运动器件驱动实现。压电式移相器，以其优良的测试精度而被广泛用于各种现代干涉仪器中，并被广泛地应用于各个领域。压电式移相器是由压电控制器所驱动
2022
08-10

压电陶瓷在半导体技术领域的应用
在半导体领域，我公司提供各种基于压电陶瓷的解决方案，包括用于减震的长寿命压电元件，用于定位的高性能大行程纳米定位陶瓷。其他的精密运动产品还包括用于快速光束稳定/角度校正的压电偏摆平台，用于纳米测量应用的压电柔性纳米台，用于掩模对准的纳米对准系统，用于水平和垂直定位的新型混合大行程纳米定位台。应用解决方案典型产品产品展示纳米压印光盘测试掩模与晶圆对准物镜精密定位光刻多轴压电系统纳米定位台压电促动器纳米聚焦系统定制六轴精密压电定位台P16压电定位扫描台P76/P72物镜压电定位器光学干涉闭环压电促动
2022
08-03

压电技术在全息存储中的应用
随着社会的发展和技术的进步，人们对信息的需求不断增加，由于信息的多媒体化，人们处理的数据不再是简单的文字、声音、图像，而是由高清晰度的和高质量的声音和运动图像等综合在一起的数字多媒体信息。对信息数据存储的要求也越来越高，特别是对存储量和速率的需求，促进了各种存储技术的发展。现有的存储技术，如磁存储和半导体存储等虽然仍在不断地改进以满足人们对超大容量和高存取速率的要求，但是这些存储手段正逐渐接近其物理极限。而全息存储将是更理想的存储技术。全息光存储技术是一种具有发展潜力的信息存储技术，因其具有高信
2022
07-20

新品介绍|XD107系列压电扫描台 - 三维纳米运动
XD107系列压电扫描台是一款定制设计的三维运动的压电平台，具有特殊的负载安装孔位。它的中心具有50×50mm方形通孔，适用于样品显微成像/扫描、微纳米范围的对准、纳米聚焦、测量等应用。XD107系列压电扫描台内部采用机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷、无摩擦柔性铰链导向机构，可实现XY向100μm/轴、Z向80μm位移。具有非常高的控制精度，分辨率和稳定性都可达nm级，定位响应时间也可达ms级。该压电扫描台可根据应用需求选配闭环传感器，以获取更高的精度。产品特点•XYZ三维运动•行程可达1
2022
07-13

升级S38系列小体积压电偏转镜，适于机载光学通信、成像、环境监测
随着科学技术的不断进步，特别是激光技术的出现及其在光学领域中的应用，使得对激光操作调整的精度要求不断提高。从经典的光学技术到自适应光学工程，压电陶瓷技术以其精密的微纳控制与超高的调节精度，在光学技术的应用领域中得到不断扩展。压电偏转镜是以压电陶瓷作为驱动元件，内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计，外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动，补偿量小，确保偏转镜具有很高的运动精度和稳定性，通过内置高精度传感器进行闭环控制，实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。根据压电偏转镜
2022
07-06

芯明天压电宏微复合运动平台 - 毫米行程、纳米精度
传统的丝杠导轨运动平台以其耐用可靠的特点广泛的应用于工业生产、科研技术之中，然而随着工业技术的提升以及科研的进步，宏动行程低精度的运动平台已无法满足越来越高精度的使用要求，宏动行程高精度调节的产品与方案应运而生-压电驱动宏微复合机构。压电驱动宏微复合的技术方案，解决了其要求行程大、定位精度高等技术难题，同时还具备了体积小、响应速度快、出力大等技术优势。芯明天压电宏微复合机构是手动调节与电压调节相结合的超精密定位台。控制结构分为两部分，一部分为手动调节台，通过千分尺进行调节；另一部分为压电纳米定位
2022
06-30

高精度直线压电马达运动平台|芯明天N31系列
近年来，随着工业设备及应用的升级与进步，对宏动行程范围的运动控制提出了更高的要求，更大的行程范围（mm级）、更高的运动精度（nm级）成为目标。芯明天聚焦前沿科技应用，结合自身技术优势，组织研发团队进行了大量的设计与试验，终于实现了技术上的突破，成功研制了直线压电马达运动平台。芯明天直线压电马达压电马达是由压电陶瓷作为驱动单元，利用特殊的机械结构设计，将压电陶瓷产生的直线微位移转换为机械平面的宏观直线运动，行程可达几百毫米，精度则依然可以保持压电陶瓷的超高精度，达纳米级。原理介绍芯明天N31系列直
2022
06-22

【走进压电】之【压电促动器】
压电促动器的命名由它的驱动动力源及其功能相结合而来的。“压电”指的是它的驱动源，即利用PZT压电陶瓷来作为驱动源从而产生运动；而“促动器”则是它的功能，它的移动端可以产生促动的作用，即用来带载物体进行微位移调节。压电促动器是将PZT压电陶瓷进行加载预紧力，并进行金属壳体封装，同时，配备有机械固定安装接口与负载安装接口。通常情况下，压电促动器自身就可以带动负载进行微位移调节，其运动端的螺纹孔或杆，可直接与负载连接。当然，它也可以驱动机械结构，再由机械结构完成运动调节。与压电陶瓷叠堆相比，压电促动器
2022
06-22

干涉测量中压电技术的应用
干涉测量技术是以光波干涉原理为基础进行测量的一门技术，在现代精密测量领域中，许多测量工作都是靠干涉实现的。对于许多测量问题的解决，光学干涉测量是目前**可行的方法。与一般的光学成像测量技术相比，干涉测量具有大量程、高灵敏度、高精度等特点。随着科学技术的不断进步，特别是激光技术的出现及其在干涉测量领域中的应用，使干涉测量技术在量程、分辨率、测量精度等方面都有了显著的提高。从经典的光学技术到自适应光学工程，现代干涉测量技术的应用领域得到不断扩展。现代图像传感和计算机技术也为干涉测量技术的发展提供了巨
2022
06-09

激光共焦扫描显微镜中压电技术的应用
激光共焦扫描显微镜是近十几年发展起来并得到广泛应用的技术，它以激光为光源，由共聚焦成像扫描系统、电子光学系统和图像分析系统组成。光束经聚焦后落在样品(组织厚片或细胞)不同深度的微小一点，并作移动扫描，可使样品内任何一点的反射光形成的图像，都被准确地接收下来并产生信号，再连接图像分析系统进行分析处理。它是先进的细胞分子生物学分析仪器，在生物及医学等领域的应用越来越广泛，已经成为生物医学实验研究的工具。注：图片来源网络传统荧光显微镜使用荧光物质标记细胞中的特定结构，图像与背景的对比度增强，光源使用了
2022
05-30

压电促动器适用于高频范围的振动激励
压电促动器具有大出力、高谐振频率、高精度、体积小的特点，在带载的情况下，仍可执行千赫兹以上的高频激励振动，是振动激励应用中一种新型的不错选择。压电促动器的外形非常小巧，可小至直径OD9mm、高H19mm，如此小的外形，它的出力却仍可高达200N，谐频达40kHz。传统中振动测试的常见的方法是使用电动振动器，但它的弊端是当运行超过机械频率限制时，控制和信号质量（控制偏差、横向振动）通常会出现问题（电枢谐振）。压电陶瓷促动器顶端可选多种连接，如内螺纹、外螺纹等，可将待测件安装固定到压电陶瓷促动器的顶
2022
05-29

压电物镜定位器在激光晶圆切割的应用
压电物镜定位器的命名实际由它的驱动原理及其应用目的相结合而来的。“压电”指的是它的驱动原理，即利用PZT压电陶瓷来作为驱动源从而产生运动；而“物镜定位器”则是它的应用目的，即用来带载物镜头调节运动。但通常情况下，压电物镜定位器本身是不包含有镜头的，它可以根据实际使用要求带载不同类型的物镜头。通常情况下，压电物镜定位器的行程约100μm，但大行程版压电物镜定位器的行程可达1mm。例如芯明天P73系列压电物镜定位器，它的Z轴直线运动范围可选200μm、500μm和1mm。同样采用柔性铰链设计机构，无
2022
05-11

利用粘滑原理的压电镜架/镜片调节架|芯明天
随着压电应用技术的发展与进步，压电产品在越来越多的实验环境中得以运用。镜片调节架在很多实验室里是非常常见的，传统的光学调整镜架采用手动调节带螺纹螺钉的方式来调节镜架的偏转角度，其外观类似下图。这种手调的镜片调节架的价格成本较低，但其操作不便，并且精度低，在使用中产生诸多不利影响。压电镜架/压电镜片调节架为了提高镜片调节架的精度，芯明天将压电驱动技术应用其中。压电技术的融入使得调节镜架产品有了质的飞跃，压电镜架也随着压电技术的融入应运而生，它显著提高了这类调节架的调节便捷度和精度。芯明天T25N8
2022
04-28

【走进压电】之【压电偏转镜】
压电偏转镜的命名实际由它的驱动原理及应用目的相结合而来的。“压电”指的是它的驱动原理，即利用PZT压电陶瓷来作为驱动源从而产生运动；而“偏转镜”则是它的应用目的，即用来使镜片产生偏转运动。但通常情况下，压电偏转镜本身是不带有镜片的，通过粘接或镜持夹持方式将镜片固定于压电偏转镜的移动台面上。此外，因为压电偏转镜对光路的快速控制作用，也常被称作快速转向镜。也经常被称作为压电倾斜镜、压电快反镜、压电反射镜、摆镜等。小科普：PZT压电陶瓷在施加电压后，会产生微米级的伸长运动。什么是压电偏转镜？压电偏转镜

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