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高压气体质量流量计是一类采用压电晶体作为检测元件,输出与流量成正比的标准信号的流量仪表。既可进行气体流量计量工 作,也可用于过程控制领域。

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布鲁克斯仪器创始于1946年。总部位于美国宾夕法尼亚州。布鲁克斯仪器在工业仪表行业中位列*。2008年，曾作为500强及工业控制排名的艾默生（Emerson）集团创始公司之一的布鲁克斯仪器从艾默生公司中独立出来。BROOKS高压气体质量流量计厂

MQ系列高压气体质量流量计
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热式高压气体质量流量计是利用热扩散原理测量气体流量的仪表。传感器由两个基准级热电阻（RTD）组成。一个是速度传感器RH，一个是测量气体温度变化的温度传感器RMG。当这两个RTD置于被测气体中时，其中传感器RH被加热，另一个传感器RMG用于感应被测气体温度。随着气体流速的增加，气流带走更多热量，传感器RH的温度下降。

BRONKHORST高压气体质量流量计，拥有专门为‘实验室应用所设计的PC板模块化结构。控制阀可以是一体的，也可以是分体的。可测量和控制的气体流量范围：
zui低流量可达0,014...0,7 mln/min
zui高流量可达 8...1670 ln/min