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离子源的类型对残余气体分析质谱仪来说至关重要，英国Hiden公司提供的离子源能适合各种应用、各种类型的RGA残余气体分析质谱仪，能满足用户的特定需要。
离子源包括标准离子源、超高真空低剖面离子源、封闭离子源、激光交叉束离子源、4离子透镜电子轰击离子源、铂离子源、镀金离子源等9种离子源。
·包覆氧化铱的标准灯丝
·其它材料类型的灯丝
·离子源选择可互换
·开放式和封闭式离子源
·交叉束离子源范围可选
·标准的低配置离子源可选
·离子源类型：
1. 标准离子源
2. 超高真空低剖面离子源
3. 封闭离子源
4. 激光交叉束离子源
5. 4离子透镜电子轰击离子源
6. 铂离子源
7. 镀金离子源
8. XBS交叉束离子源
9. 基本交叉束离子源
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