卷对卷连续化走丝BN沉积系统 RTR-1400C-III-60 返回列表页

一、主要特点：

该设备为我司研发用于材料连续生长的专用设备，此款设备是快速冷却卷对卷CVD连续生长炉，它由高温生长加热系统，真空密封腔室，刚玉管，SiC纤维卷绕部件，自动化控制系统组成，两端分别安装有进料进气真空腔室和出料排气真空腔室（即收放卷的密封装置），收放密封装置内分别对应安装有放卷滚轮和收卷滚轮，所输出料排气腔体与炉体之间安装有冷却装置。相对于现有技术具有快速冷却、连续生长的优点。

二、主要技术参数：

加热部分主要参数：

额定功率：12kW

额定电压：三相五线制AC220/380V

温度：1400℃

持续工作温度：室温-1300℃

升温速率：5-10℃/min

炉管尺寸：刚玉管Φ60*1600mm

加热区长度：200+200+200mm

控温方式：10寸液晶屏触摸控制（模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能）

控温精度：±1℃

热电偶：S型热电偶3根

加热元件：硅碳棒

卷丝筒直径：75mm

极限真空度：≤10Pa

压升率：≤1Pa/min

压力传感器：英福康 PCG550

走丝速度：10-100cm/min

供气系统：6路供气

真空系统：罗茨泵+机械泵