当前位置:安徽贝意克设备技术有限公司>>非标定制>> 半导体前驱体提纯仪/药品提纯仪/去金属离子提纯仪
此款设备将实验级别的升华机右端料端均对接手套箱,手套箱可内衬四氟或喷涂特氟能起到防腐作用,半导体材料升华仪根据材料升华温度、分子量的差异,对于材料进行提纯,参数准确,工艺可靠稳定,实验结果表明,单次升华可大幅度降低有机材料中的杂质金属离子浓度,将材料的纯度提升一至三个数量级。整个操作过程材料与大气隔绝,避免了大气中水、氧的影响以及灰尘的污染,是制备高纯度半导体前驱体及相关材料的。
设备型号 | BOF-5-100V |
设备尺寸 | 1550*650*1260mm |
外管尺寸 | 100*1200mm |
加热区长度 | 100+200+100+200+100mm |
额定功率 | 6kw |
工作温度 | 软件温控保护温600° ,设备硬件支持温度800° |
加热元件 | 进口KTL电阻丝 |
控温元件 | 触摸液晶屏+工控仪表 |
控温精度 | ±1℃ |
冲温幅度 | ±1℃ |
推荐升温速率 | ±1℃ |
机械泵抽速 | ±1℃ |
分子泵抽速 | 250L/s |
极限真空 | 10^-4Pa |
显示屏尺寸 | 10寸 |
手套箱右侧配置一台对面双工位 | 1220*1000*900mm |
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