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半导体前驱体提纯仪/药品提纯仪/去金属离子提纯仪

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厂商性质经销商

所  在  地合肥市

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更新时间:2023-07-17 07:44:14浏览次数:55次

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此款设备将实验级别的升华机右端料端均对接手套箱,手套箱可内衬四氟或喷涂特氟能起到防腐作用,半导体材料升华仪根据材料升华温度、分子量的差异,对于材料进行提纯,参数准确,工艺可靠稳定,实验结果表明,单次升华可大幅度降低有机材料中的杂质金属离子浓度,将材料的纯度提升一至三个数量级

此款设备将实验级别的升华机右端料端均对接手套箱,手套箱可内衬四氟或喷涂特氟能起到防腐作用,半导体材料升华仪根据材料升华温度、分子量的差异,对于材料进行提纯,参数准确,工艺可靠稳定,实验结果表明,单次升华可大幅度降低有机材料中的杂质金属离子浓度,将材料的纯度提升一至三个数量级。整个操作过程材料与大气隔绝,避免了大气中水、氧的影响以及灰尘的污染,是制备高纯度半导体前驱体及相关材料的。

设备型号 BOF-5-100V
设备尺寸 1550*650*1260mm
外管尺寸 100*1200mm
加热区长度 100+200+100+200+100mm
额定功率 6kw
工作温度 软件温控保护温600°  ,设备硬件支持温度800°
加热元件 进口KTL电阻丝
控温元件 触摸液晶屏+工控仪表
控温精度 ±1℃
冲温幅度 ±1℃
推荐升温速率 ±1℃
机械泵抽速 ±1℃
分子泵抽速 250L/s
极限真空 10^-4Pa
显示屏尺寸 10寸
手套箱右侧配置一台对面双工位 1220*1000*900mm

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