当前位置:安徽贝意克设备技术有限公司>>非标定制>> 分体式升华设备将热场置于手套箱
此款设备简易分体式结构,能将升华体置于手套箱内部,控制部分及真空部分置于手套箱外,操作简易。能初步满足材料进出及升华过程中的气氛保护要求。法兰为球头真空吸附方式密封,无需工具操作,大大降低了手套箱内的操作难度,整个操作过程材料与大气隔绝,避免了大气中水、氧的影响以及灰尘的污染,是制备高纯度半导体前驱体及相关材料的。
设备型号 | BOF-3-50V |
设备尺寸 | 2000*750*2000mm |
外管尺寸 | 50*700mm |
加热区长度 | 100+200+100mm |
额定功率 | 5KW |
加热元件 | 进口KTL电阻丝 |
控温元件 | 触摸液晶屏+工控仪表 |
控温精度 | ±1℃ |
冲温幅度 | ±2℃ |
推荐升温速率 | 5-10℃/min |
机械泵抽速 | 10m³/h |
分子泵抽速 | 90L/s |
极限真空 | 10^-4Pa |
显示屏尺寸 | 10寸 |
工作温度 | 软件温控保护温600°,硬件支持温度800° |
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