当前位置:安徽贝意克设备技术有限公司>>单温区CVD系统>> 滑轨式CVD石墨烯生长系统(型号:BTF-1200C-SL-CVD)
设备特点
此款设备是专为生长石墨烯、碳纳米管研制的生长专用炉,也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验,温区可独立程序控制,设备操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。
1.加热系统
温度 | 1200℃ |
使用温度 | ≤1100℃ |
石英管尺寸 | Φ25/φ50/φ60/Φ80/φ100*1400mm |
炉膛材料 | 氧化铝、高温纤维制品 |
热电偶类型 | K型热电偶 |
控温精度 | ±1℃ |
控温方式 | 30段可编程控温,PID参数自整定。 |
加热长度 | 440mm |
恒温区长度 | 200mm |
加热原件 | 电阻丝 |
供电电源 | 单相,220V,50Hz |
2、三路质子流量控制系统
连接头类型 | 双卡套不锈钢接头 |
标准量程(N2) | 200sccm,500sccm、1000sccm(可根据用户要求定制) |
准确度 | ±1.5%F.S |
线性 | ±1%F.S |
重复精度 | ±0.2%F.S |
响应时间 | 气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec |
工作压差范围 | 0.1~0.5 MPa |
压力 | 3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
显示 | 4位数字显示 |
工作环境温度 | 5~45高纯气体 |
压力真空表 | -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止阀 | Φ6 |
内外双抛不锈钢管 | Φ6 |
3、低真空机组
空气相对湿度 | ≤85% |
工作环境 | 5℃~40℃ |
工作电电压 | 220V±10% 50~60HZ |
功率 | 1KW |
抽气速率 | 10m³/h |
极限真空 | 5X10-1Pa |
工作压力范围 | 1.01325X105~1.33X10-2Pa |
耐压值 | 0.03MPa |
容油量 | 1.1L |
进气口口径 | KF25 |
排气口口径 | KF25 |
噪音 | 50dB |
连接方式 | 采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连 |
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