迷你型CVD系统 返回列表页

加热区参数

 炉管尺寸：外径Φ25/50*600mm (管径可选)

 加热元件；电阻丝（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo）
 加热区长度：230mm

 恒温区长度；80mm

 工作温度：1100℃
 温度：1200℃
 控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
 控温精度；±1℃

 推荐升温速度：20℃/min

 升温速度：≤100℃/min

 炉门结构：开启式
 工作电源：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

 额定功率：2KW

 外型尺寸：350×290×345 mm

 标准配件：石英管1根，不锈钢密封法兰1套，硅胶密封圈2套，氧化铝管堵4只，高温手套1副，坩埚钩1支，小保险1个。

 密封系统：炉管两端配有不锈钢密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头），端口可按实际使用扩展。

气路系统参数

 质量流量计参考量程（N₂)：100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm （量程可选）

 准确度：±1.5%

 线性：±0.5～1.5%

 重复精度：±0.2%

 响应时间：≤10sec

 工作压差范围：0.1～0.5 MPa

 压力：3MPa

 接口：Φ6,1/4''

 显示：4位数字显示

 工作环境温度：5~45高纯气体

 内外双抛不锈钢管：Φ6

 压力真空表；－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

 截止阀：Φ6

 连接头类型：双卡套不锈钢接头。

 备注：可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。

低真空系统参数

 抽速：10m³/h

 极限真空度：5*10^-1pa

 电源：220v 50hz

 电机功率：0.4kw  

 进排气连接口：KF25

 用油量：1.1L

 电机转速：1440rpm

 工作环境温度：5-40℃

 噪音：≤56db

 电阻真空计参数：

 1.配用规管： 电阻规，

 2.测量范围： 10 ⁵ ～10 ^-1 Pa，

 3.测量路数： 1路

 4.控制范围： 5×10³ ～5×10 ^-1 Pa，

 5.控制方式：继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载，

 6.电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

 7.功耗： 20W