上海全耀仪器设备有限公司
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Map薄膜厚度测绘仪
大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。比如：氧化物，氮化物，光刻胶，高分子聚合物，半导体(硅，单晶硅，多晶硅)，半导体化合物(AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS)，硬涂层(碳化硅，类金刚石炭)，聚合物涂层(聚对二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺)
Map薄膜厚度测绘仪用于测量厚度分布，评价薄膜厚度的均一性，可与所有MProble系列的薄膜测厚仪联用。
厚度测绘台包含：
1. XY电动载物台，行程：150mm/200mm/300mm
2. 19英寸铝制底座
3. 探头适配器
4. 载物台控制器
5. 厚度拼图软件
| 可选硬件模块： | |
| 150XYM | 6英寸（150X150mm）行程电动载物台 |
| 200XYM | 8英寸（200X200mm）行程电动载物台 |
| 300XYM | 12英寸（300X300mm）行程电动载物台 |
| VAC | 真空吸附器 |
| TR | 透射率测量模块 |
电动载物台参数：
| 位移精度 | 小于2um |
| 分辨率 | 小于0.5um |
| 驱动器 | 步进马达 |
| 通讯 | USB接口 |
| 尺寸 | 19X19x10英寸(6和8英寸行程) |
| 重量 | 12kg |
薄膜厚度分布图（厚度以颜色标示）：
厚度测绘软件：
我们乐意为您进行免费样品测量，欢迎。
美国Semiconsoft中国总代理 上海全耀仪器设备有限公司
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