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NRE-3500型RIE-PE刻蚀机:PC控制的RIE刻蚀PE刻蚀一体机,淋浴头气体分布装置以及水冷RF样品,不锈钢柜子及13“的上盖式圆柱形铝腔,便于晶圆片装...
NRE-3000型RIE-PE刻蚀机:PC控制的RIE刻蚀PE刻蚀系统,淋浴头气体分布装置以及水冷RF样品,不锈钢柜子及13“的上盖式圆柱形铝腔,便于晶圆片装载...
NRE-4000型RIE-PE刻蚀机:提供PC控制的PE刻蚀RIE刻蚀一体机,配套有淋浴头气体分布装置以及水冷RF样品.具有不锈钢柜子以及13“的上盖式圆柱形铝...
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