岱美仪器技术服务（上海）有限公司
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FR-Scanner厚度测量視頻Thetametrisis膜厚仪FR-Scanner是一种紧凑的台式工具，适用于自动测绘晶圆片上的涂层厚度
FR-Scanner 厚度测量視頻
Thetametrisis膜厚仪 FR-Scanner 是一种紧凑的台式工具，适用于自动测绘晶圆片上的涂层厚度。FR-Scanner 可以快 速和准确测量薄膜特性:厚度，折射率，均匀性，颜色等。真空吸盘可应用于任何直径或其他形状的样片。
1、应用
半导体生产制造：(光刻胶, 电介质,光子多层结构， poly-Si, Si, DLC, )
光伏产业
液晶显示
光学薄膜
聚合物
微机电系统和微光机电系统
基底:透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明
Thetametrisis膜厚仪的光学模块可容纳所有光学部件:分光计、复合光源(寿命10000小时)、高精度反射探头。因此，在准确性、重现性和长期稳定性方面保证了优异的性能。
Thetametrisis膜厚仪 FR-Scanner 通过高速旋转平台和光学探头直线移动扫描晶圆片(极坐标扫描)。通过这种方法，可以在很短的时间内记录具有高重复性的精确反射率数据，这使得FR-Scanner 成为测绘晶圆涂层或其他基片涂层的理想工具。
测量 8" 样片 625 点数据 < 60 秒
2、特征
单点分析(不需要预估值）
动态测量
包括光学参数(n和k，颜色) o 为演示保存视频
600 多种的预存材料
离线分析
免费软件更新
3、性能参数
| 样品尺寸 | 晶圆: 2 英寸-3 英寸-4 英寸-6 英寸-8 英寸-300mm1 |
| 角度与线性分辨率 | 5μm/0.1o |
| 光斑 | 350μm |
| 光谱范围 | 370-1020nm |
| 光谱规格 | 3648pixels/16bit |
| 光源MTBF | 10000h |
| 厚度范围 2 | 12nm-90μm |
| 精度 3 | 0.02nm |
| 稳定性 4 | 0.05nm |
| 准确度 5 | 1nm |
| 折射率测量蕞小厚度 6 | 100nm |
| 扫描速度 7 | 625meas/min |
| 通讯接口 | USB 2.0 / USB 3.0. |
| 产品尺寸(mm) | 485W x 457L x 500H |
| 电源要求 | 110V/230V, 50-60Hz, 300W |
| 外观 | 防静电喷涂钢板和 304 不锈钢面板 |
| 重量 | 40Kg |
4、测量原理
白光反射光谱(WLRS)是测量从单层薄膜或多层堆叠结构的一个波长范围内光的反射量，入射光垂直于样品表面，由于界面干涉产生的反射光谱被用来计算确定(透明或部分透明或反射基板上)的薄膜的厚度、光学常数(n和k)等。
如果您想要了解更多关于Thetametrisis膜厚仪的产品信息，请联系我们岱美仪器。
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