Gaertner Scientific Corporation
Gaertner stokes 微点椭偏仪LSE-MS
Gaertner stokes microspot ellipsometer LSE-MS
LSE-MS微点系统
与上面可选的LRS 6英寸线性x 360°旋转平台一起显示
stokes微点椭圆仪LSE-MS描述
具有15微米的测量激光束直径，手动XY千分尺定位台和用于查看PC上测量区域的照相机。可以测量小至15 X 45微米的面积。该装置简单而坚固的设计提供了易用性和瞬时测量功能，是过度复杂的椭圆仪的受欢迎替代方案。
LSE-MS椭圆仪使用*的StokesMeter™技术（曾荣获Photonics Spectra和R＆D 100新产品奖），它没有运动部件，也没有调制器，可以快速准确地确定入射角为70°的6328Å激光测量光束的完整偏振态。激光光源具有足够的光强度，以提高吸收膜和粗糙散射膜的测量精度。激光源还具有光谱精确，稳定和持久的优势。它们的使用可以在光学器件，检测器和其他组件中实现的仪器设计，从而可以进行高度精确的测量。节省空间的设计占地面积小，但可容纳300mm宽的大型样品。
高速薄膜厚度测量系统可在不到一秒钟的时间内完成测量！
特征
gaertner椭偏仪测量程序LGEMP说明
LGEMP Windows软件用途广泛，可以测量单层膜（例如氧化物，氮化物和光致抗蚀剂）以及已知的1、2或3层堆栈的顶层，例如在氧化物上的多晶和在多晶上的氧化物在氧化物上。单层有机膜是LSE模型的精度和稳定性的应用。
“文件处理程序"可以保存和快速检索常用的测量设置参数。可以将四个用户定义的设置文件分配给一个步骤的“按即走"快捷按钮，以快速访问不同的测量设置。
LGEMP程序中的放大PSI-Delta映射允许对薄膜模型进行理论上的“假设"类型模拟；对电影模型有更深入的了解。顶层薄膜厚度T1（粉红色线），折射率Nf1（红线），吸收Kf1（棕线），Y（黄线）， D（绿线），左侧带有可移动滑块，可迅速显示变化的影响模型参数对薄膜折射率的分辨率和可测量性。浅绿色线是恒定膜折射率Nf1的线。白线是Autofix Nf1的区域，在该区域中无法轻松解析索引。
stokesmeter™技术的说明
这种*的设备无需移动部件，也不需要调制器，可以快速，准确地确定测量光束的完整偏振状态。
上图显示了用于同时测量所有四个Stokes光参数的StokesMeter™光旋光仪。待确定其偏振状态的光束以倾斜的入射角连续入射三个光电探测器表面，每个光电探测器表面均被部分光谱反射，并且每个光电探测器表面均产生与光电探测器的分数成比例的电信号。它吸收的辐射。第四光电探测器基本上吸收光，并检测其余的光。这样形成的四个输出形成一个4x1信号矢量I，它与输入斯托克斯矢量 S线性相关，即I = AS。所以，小号通过获得S =甲（-1）予。4x4仪器矩阵 A必须是非奇异的，这要求前三个检测器表面的入射平面都不同。对于给定的四个检测器布置，可以通过校准来计算或确定A。
技术优势
简单，紧凑的 StokesMeter™ 取代了由鼓，棱镜，编码器，开关，电动机和检测器及其相关电子设备组成的典型旋转分析仪组件。此外，消除了偏振器臂上的波片机构，从而实现了快速，精确，无移动的椭圆偏振仪。
斯托克斯（Stokes）椭圆仪的一项杰出功能是对由于样品不平整而导致的角射束偏差的微小变化进行了补偿；这样就可以在整个晶圆表面上进行快速，连续的测量，而无需暂停以校正聚焦和倾斜。。
LSE-MS斯托克斯椭圆仪非常精确和稳定，在基本的复杂椭圆仪中是的价值。LSE-MS型椭偏仪附带LGEMP Windows™软件，USB电缆，XY样品台和参考晶圆。它通过2个USB 2.0端口连接到Windows™PC或笔记本电脑。
LSE-MS可以配备以下选项：
可选的线性旋转样品台LRS 6英寸线性和360度旋转样品台代替了标准样品台
可选的WIN 10便携式PC，
带有预装的驱动程序以及软件和安全电缆 可选的Stokes校准套件L118-KIT 使用4个Gaertner可追溯晶片加2美元玻璃（L118G-KIT）或 4个NIST可追溯晶片加玻璃$ 3.5 K 重新校准任何Stokes椭偏仪。L118N-KIT）。 中号OST用户将 不需要椭偏仪校准。适用于具有极其严格的公差和法规遵从用户的的半导体制造商。斯托克斯
椭圆仪LSE-MS规格
| 对准： | 使用计算机校准屏幕手动调整倾斜度和工作台高度。 |
| 相机 | 在PC上显示测量区域 |
| 入射角： | 70度 |
| 测量方法： | *的StokesMeter无需移动部件和调制器，只需4个固定式硅探测器，即可确定完整的测量光束偏振，因此测量是稳定且精确的。 |
| 测量时间： | 实际上是瞬时的 |
| 测量激光： | 6328ÅHeNe气体激光器，测量光束直径为15 x 45 um |
| 对准激光： | 670nm激光二极管 |
| 样品（晶圆）尺寸： | 接受300毫米宽X无限长度 |
| 阶段： | XY手定位具有倾斜度和工作台高度调节。 |
| 软件： | 包括Windows™LGEMP 4层吸收程序。 |
| 所需计算机： | 具有2个USB 2.0端口（不包括）的Windows™台式机或笔记本电脑。 |
| 膜厚范围： | 基板上，1、2、3或4个已知子层上的0-60,000埃。 |
| 精度和重复性： | 在大多数测量范围内低于亚埃。 |
| 折光率： | 在大多数测量范围内为±0.0005。 |
| 功率： | 100V-240V，50-60Hz。1个 |
| 尺寸图 | 高度：16.5宽度：27.5深度：16英寸
净重：45磅。运输重量：65磅。 |
| CDRH合规性： | 盖特纳（Gaertner）提供的所有激光椭圆仪均符合CDRH要求21CFR 1040，用于发出小于1 mW的II类激光产品或小于5 mW的IIIb类激光产品。与任何明亮的光源（例如太阳灯或弧光灯）一样，操作员不得直接凝视激光束或从高反射表面反射激光束。 |
| CE合规性： | 斯托克斯椭偏仪符合欧洲安全指令并带有CE标志。 |
| 保证： | 1年保修涵盖所有零件和人工，不包括运输费用 |
