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大口径真空压力调节器:EVR系列EyoungVacuumRegulator(EVRSeries)——负压和正压调节、口径1/8"~4"、高速精密、手动或电子控制一、简介EVR系列调节器是一种常闭调压型真空压力调节装置
大口径真空压力调节器:EVR系列
Eyoung Vacuum Regulator(EVR Series)
—— 负压和正压调节、口径1/8"~4"、高速精密、手动或电子控制
一、简介
EVR系列调节器是一种常闭调压型真空压力调节装置,可直接对气密性容器的真空压力(负压或正压)进行高速调节,调节方式采用顶部气控先导阀,先导阀可采用手动和电子控制形式。
EVR系列产品是专门为大口径和快速控制等工业应用需求所设计的高速真空压力调节器,如各种CVD、聚合物精密成型和精密真空蒸馏等工艺,是目前常用进口高速电动阀门(MKS、CDK和VAT等蝶阀)的国产化替代产品。
EVR系列产品可配各种手动和电子控制形式的先导阀,可形成开环和闭环控制回路。通过外接真空计并与依阳公司VPC2021系列真空压力控制器相结合,可构成闭环形式快速高精度可编程真空控制回路。
二、技术指标和尺寸
三、特点
四、应用
(1)CVD工艺中MKS下游排气高速节流阀的国产化替代方案及产品
(2)工业减压蒸馏工艺中大流量耐腐蚀快响应精密真空控制的解决方案
(3)低压与高压(负压与正压)之间的真空压力连续控制解决方案
(4)呼吸阀检验装置中的正负压连续精密控制解决方案
(5)快速响应的大口径背压阀在聚合物挤出机定径箱真空度精密控制中的应用
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