上海德竹芯源科技有限公司
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等离子体光谱仪器Crookesl，针对半导体等离子体工艺设备开发，兼具原位监控和谱线分析功能，解决等离子体工艺稳定度监控，等离子体工艺过程监控，等离子体工艺实时反馈控制，适用于等离子体工艺相关的工艺研发和产线监控。
设备原理
通过搜集原子发射光谱并分析特征波段/波长的谱线实现对等离子体的监控和反馈控制。
设备构成
● 等离子体发光光谱仪
高性能光谱仪，覆盖紫外到红外波段，精度/灵敏度根据工艺需求选择，可检测绝大部分微加工制备工艺涉及的元素。
● 等离子体监控&分析软件
针对反馈控制，终点检测，稳定性监控等多种工艺需求定制，可实时显示光谱变化三维图，优化积分算法处理判定。根据用户自定义添加的光谱数据库。
● 光学系统集成
可定制化系统集成，真空外检测和真空内检测多种集成方式，防镀膜设计光学探头。
主要功能和特色
● 实时等离子体光谱采集，全数据时域&频域光谱分析
● 自动谱图寻峰及原子谱线数据库匹配
● 等离子体光谱单一峰位&连续波段积分强度监视
● Recipe编译/执行操作模式
主要应用
● 等离子体刻蚀终点检测（IBE/IRBE/RIE/ICP-RIE）
● 等离子体稳定度均匀度检测（大面积离子源，腔内等离子体分布）
● 等离子体反应气体组分控制（反应溅射沉积，HiPims，PECVD，Plasma Clean，ATM Plasma）
| 高精度等离子体光谱检测仪 | 高信噪比离子体光谱监测仪 | 多通道等离子体光谱监测仪 | |
| 主机型号 | CrookesI | CrookesI-Pro | CrookesI-Trident |
| 通道数量 | 1 | 1 | 3 |
| 光谱波长范围 | 200 ~ 1100 nm | 220 ~ 980 nm | 200 ~ 1100 nm |
| 光谱分辨率 | 1.3 nm | 1.8 nm | 1.3 nm / 1.8 nm |
| 波长精度 | 0.12 nm | 0.2 nm | 0.12 nm/ 0.2 nm |
| 信噪比 | 500 : 1 | 1000 : 1 | 500 : 1 / 1000 : 1 |
| I/O接口 | 2 路模拟输出、4 路模拟输入、8 路数字输入输出 | ||
| 计算机通信接口 | GPIB / RS232 / USB | ||
| 尺寸 | 195 × 275 × 90 mm3 | ||
| 重量 | 2.5 kg | 2.5 kg | 3.5 kg |
| 用电 | 单相 220 V, 5 A | ||
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