上海德竹芯源科技有限公司
上海德竹芯源科技有限公司
SM-200/HP-200 组合式系统 SAWATEC 的 SM-200/HP-200 是由 SM-200 匀胶和 HP-200 热板组成的一个紧凑的柜式机，这种组合式系统非常适用于研究开发和试产项目。
产品功能
● 闭合工艺室由 PETP 材质做成（碗和防溅环）
● RCCT 系统（旋转闭合腔体技术 Round-Closed-Chamber-Technology）
● 高动态、直接驱动交流伺服电机
● 旋转速度 6000 rpm +/-1 rpm（可选 10000）
● 可编程电驱动分配手臂，可静态或动态滴胶
● 衬底通过真空固定和安全互锁保护
● 一个滴胶臂，可放置 4 路液体管路
● 液体由玻璃瓶和精密计量泵来供应，包括低液体传感报警
● PP材质的废液桶，带有高液位传感器
产品功能
● 数字温度控制及实时温度显示
● 重复工艺的快速启动
● 自动温度限幅开关，避免过热
● 加热工艺可编程多段式，每个工艺可设置 20 段
● 电动升降式载片顶针
● 配备安全玻璃，也方便清洁
● 热板极速调平，避免光刻胶流动
● 用户操作的工艺参数配置界面及触摸屏
● 基片通过真空吸附固定
● 手动上下片
性能参数
● 均匀加热区域：200mm × 200mm
● 温度范围：室温到 250℃
● 温度均匀性：100℃ 时温差范围 +/-0.6℃
● 电动驱动顶针的升降
您感兴趣的产品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
仪表网 设计制作，未经允许翻录必究 .
请输入账号
请输入密码
请输验证码
