上海德竹芯源科技有限公司
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针对具备高度结构化晶圆形貌、深度 MEMS 结构或不平整表面特征的基板，SAWATEC 公司的 iSPRAY-300 能确保尽可能均匀的喷涂效果。它是一款精密的喷胶机，适用于手动喷涂或喷雾显影工艺，主要被应用于研究与开发实验室，尤其是 MEMS 加工的试产和小量产场合。 经过工艺优化的喷嘴能够结合低粘度的、特别适用于喷涂作业的光刻胶生成精细的小液滴。在一个封闭式工艺室中喷嘴经由“弓"字型行进路径进......
产品功能
● 可编程，最多 50 个程序
● 最多可同时喷涂 4 个晶基板
● 适用于重复工艺的快速启动功能
● 触摸屏面板控制，方便用户程序配置
● 工艺参数：喷嘴行进路径，喷洒臂速度，喷洒时间，锥形束形状电气驱动的喷洒臂，其在 X 或 Y 轴方向上的速度可选
● 可调整的喷嘴，具有恒定的喷洒压力和自动的清洁功能
● 用于计量压缩空气和检查真空度的指示元件
● 手动装卸基板
性能参数
● 喷洒臂的速度和定位精度： 0.4 m/s，±0.1 mm
● 每个分段的喷洒时间：最长为 9999 秒，调节步幅为 0.1 秒
● 喷洒循环的数目：最多 20 个曲回循环
● 环境温度：+4 至 +60°C
● 圆形或方形基板
● 适用 300 mm 的晶圆或 12×12 英寸的基板
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