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美国SVT脉冲激光沉积系统

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产品型号PLD-100/200

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厂商性质其他

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更新时间：2018-05-15 15:37:12浏览次数：311次

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产品简介

美国SVT公司PLD脉冲激光沉积系统
用于沉积金属薄膜，氧化物薄膜，多元素材料薄膜的脉冲激光沉积系统，可以与多种薄膜制备设备连用。凭借多年的科研与实践经验，我公司为许多科研用户独立打造了PLD-MBE连用系统，PLD-UHV Suptter连用系统等。

详细介绍

美国SVT公司PLD脉冲激光沉积系统用于沉积金属薄膜，氧化物薄膜，多元素材料薄膜的脉冲激光沉积系统，可以与多种薄膜制备设备连用。凭借多年的科研与实践经验，我公司为许多科研用户独立打造了PLD-MBE连用系统，PLD-UHV Suptter连用系统等。

应用：
ZnO材料功能薄膜
STO薄膜
金属薄膜
超导薄膜
铁电功能薄膜
功能陶瓷膜

技术参数：
超高真空E-10Torr
四／六靶靶台可公转,自转
温度加热台到1000^oC
灵活的泵组合
线形运动挡板
在线检测系统（温度,厚度）
配备高能量激光器

主要特点：
RF射频等离子源（氧,氮）
升级高真空
增加进样室
升级为Laser-MBE （L-MBE）系统
自动软件控制