当前位置：西安欧润凯机电科技有限公司>>BROOKS质量流量计/控制器>>BROOKS GF数字型系列>> GF100CXXC布鲁克斯GF100CXXC特气流量计 质量流量计
| 材质 | 不锈钢 | 产地 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 工作温度 | 0-65℃ | 工作压力 | 0-1Mpa |
| 公称直径 | 3-6mm | 加工定制 | 否 |
| 量程比 | 1:50 | 流量测速范围 | 0-30SLPMkg/h |
| 适用介质 | 气体 |
气体质量流量控制器（MFC）在石化工业、生化、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、蔬果保鲜、加气饮料、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的场合包括：电子工艺设备，如：氧化、CVD、MOCVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、以及微反应装置、混气配气系统、真空镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪及其他分析仪器。
结构
气体质量流量计由流量传感器（Sensor），分流器通道和流量放大电路等部件组成；在气体质量流量计的基础上，再加上调节阀门和PID控制电路就构成了气体质量流量控制器。
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