美国BROOKS布鲁克斯质量流量计 返回列表页

美国BROOKS布鲁克斯公司热式质量流量计是为了满足有关工艺过程中对测量精度、重复性和控制方面的要求而设计的产品。它与传统的体积流量仪器截然不同，BROOKS质量流量计通过被测气体的比热来测量流量，不受温度、压力变化的影响。因此该产品在各种不同的工作环境下均有较高的精度。被测流量可设计成质量或体积单位。此外，所有BROOKS INSTRUMENT质量流量计产品都能同现有的工业仪表兼容，安装简便。

常用型号有：5850E、5850I 、5851E,SLA5850S,SLA5851S,SLA5853S

其他型号：

5861E质量流量计

5863E质量流量计

5853E质量流量控制器

5965质量流量控制器

5964质量流量控制器

4860质量流量计

4850质量流量控制器

5863S质量流量计

5861S质量流量计

5860S质量流量计

5853S质量流量控制器

5851S质量流量控制器

5850S质量流量控制器

5850i质量流量控制器

SLA7860质量流量计

SLA7850质量流量控制器

SLA7960质量流量计

SLA7950质量流量控制器

B950质量流量控制器

SLAMF63质量流量计

SLAMF61质量流量计

SLAMF60质量流量计

SLAMF53质量流量控制器

SLAMF51质量流量控制器

SLAMF50质量流量控制器

SLA5863质量流量计

SLA5861流量计

SLA5860流量计

SLA5853质量流量控制器

SLA5851流量控制器

SLA5850质量流量控制器

SLAMF60_防爆型数模橡胶密封质量流量计(30C51L)布鲁克斯/Brooks气体质量流量控制器和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。?数模橡胶密封;流量范围:0.003-30 slpm;耐压:100 Bar精度:±1.0% of rate(20%-**** FS);±0.2% FS(below 20% FS);±1.0% of FS(1100-2500 slpm)