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高性能离子减薄仪（Ion Milling）

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产品型号MU400

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更新时间：2018-05-15 17:17:22浏览次数：460次

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离子减薄仪

刻蚀机

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上海续波光电技术有限公司

经营模式：代理商

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所在地区：上海上海市

联系人：肖先生（经理）

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产品简介

该设备用于薄膜处理，性能，代表性用户如：法国科学研究中心（CNRS）、意法半导体（ST）

详细介绍

系统简单配置如下：

Load lock
真空系统: 机械泵Oil pump/Dry pump + 涡轮分子泵/低温泵/电磁泵

离子枪: DC / RF

均匀性：100 mm衬底 +/- 4%, 刻蚀速率降低均匀性优于+/-2%

衬底尺寸：4英寸衬底（4-12英寸可选），水冷。

终端检测系统：SIMS 或激光干涉仪。

控制方式：全自动电脑控制，半自动或手动控制可选。

详细信息和资料，请！