高真空电子束蒸发镀膜仪（E-beam Evaporator）
550S 面议上海续波光电技术有限公司
上海续波光电技术有限公司
可以用于沉积几乎任何金属及氧化物薄膜，目前主要超导量子实验室均使用该设备制备超导结（量子比特和约瑟夫森结）和量子器件，可以制备大面积、高度稳定性和可重复性超导结。更详细信息或资料，请咨询我们！
*配置：
蒸发腔体：
泵装置：低温泵/TMP+ 叶片泵/干泵；
真空度通常10-8Torr
电子束蒸发源：6-15KW
Load lock预真空进样室：
泵装置：TMP+叶片泵/干泵，
真空度<10-7 Torr
衬底支架：可加载4英寸衬底
衬底3D转动
衬底倾斜：角度范围请咨询, 精度和重复性优于0.1°（可升级）；
衬底旋转：20rpm.
气体接口：注射氧气及其他气体来实现清洁和氧化过程
衬底清洗：配备离子枪
石英晶振膜厚控制仪；
频率分辨率：10-4Hz或更优
速率控制分辨率: 0.01 ?/s；
厚度分辨率: 0.01?
全自动软件包，支持半自动和手动模式，支持远程网络操作和维护。
典型用户：Yale University、UCSB、普林斯顿大学、University of Waterloo、法国科学研究中心、University of Glasgow、日本NTT、清华大学等
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