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当前位置：北京精科智创科技发展有限公司>>材料制样设备>>可计量型蒸气发生器>> JKZC-DM1700型程控蒸发镀膜仪
| 产地 | 国产 | 加工定制 | 否 |
|---|
小型程控蒸发镀膜仪JKZC-DM1700是一款小型台式程序控温蒸发镀膜仪，可以设定程序，精确控制温度200℃～1500℃（或者1200℃～1700℃），样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。
技术参数：
产品特点：
· φ6英寸的石英腔体，便于清洁和放入样品
· 安装有一个2英寸的样品台，且样品台可旋转，使所制薄膜更加均匀
· 样品台与蒸发源之间的距离可调
· 气体流量端口和阀门内置可用于腔室净化和CVD实验
基本参数：
· 电源：208V-240V，50/60HZ
· 功率：＜1.5KW
· 最高加热温度：≤1500℃
真空腔室：
· 材质：高纯石英
· 尺寸：外径φ166*内径φ150*L250mm
· 密封法兰: 采用金属铝制作，采用硅胶密封圈密封
· 一个快速挡板安装在法兰上
· 一个不锈钢网罩住整个石英腔体
· 真空度：<7.5×10-2 Torr （采用双极旋片真空泵）,<5×10-3 torr （采用涡旋分子泵）
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