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微光显微镜光子侦测系统构成,主要技术参数
探测器
(1)传感器为InGaAs CCD,可降温到-70℃(外置式冰水机及半导体制冷需同时工作);
(2)传感器物理像素不低于640×512;
(3)像素尺寸不大于:20μm×20μm;
(4)采集晶片尺寸:≥9.6×7.68mm;
NIR显微镜部分:
(1)采用日本进口高解析度NIR显微镜;
(2) NIR物镜2.5X(NA=0.1)、NIR5X(NA=0.14)、NIR20X(NA=0.4)、NIR50X(NA=0.5);
(3)具备NIR emmi光源(355nm-1550nm)及可见光源(355nm-700nm)。
(4)软件可切换NIR光源及可见光源。
探针台
(1)八英寸探针台1套,精调大螺母控制,龙门式电动控制;
(2)一键气浮式导航系统,手柄按钮启动后承载台处于气浮状态,具备手柄按钮定位系统,定位后关闭气浮系统,反向真空吸附承载台。
(3)具备backside Probe模块。
主机构
(1)电动X,Y平台, 移动范围≥50mm, 移动精度:1μm;(能数值显示)
(2)电动Z平台, 移动范围≥60mm, 移动精度:0.1μm;(能数值显示)
(3)软件控制及远程控制台可同时控制主机构移动及更换镜头,至少三种移动速度选择。(相应速度可自己设定,需包含移动保护单元);
软件功能
(1)具有3D呈像功能;
(2)具有自动影像修复功能;
(3)具有鼠标点控影像中心功能,缩略图导航功能;
(4)具有影像无缝拼接功能,能拼接数百张emmi局部影像为整体;
(5)具有两点距离量测功能;
(6)两张Emission影像比对功能,找出正确的emission点;
(7)一体化操作软件,操作界面左侧为操作步骤提示,中间为缩略图导航模块,鼠标指示缩略图,探测器可自动以该位置为中心定位,右侧具有曝光时间设置功能,电源控制功能,探测器光亮设定功能,显微镜倍率选择,移动,速度调节功能,聚焦定位功能。所有仪器操作及功能在同一个软件界面实现(不能用同时打开多个软件或界面的方式来完成仪器操作、仪器设置与仪器功能),软件集成化程度高,稳定性好。
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