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产品简介
详细介绍
环境型原子力显微镜 AFM5300E
AFM5300E是一款环境型原子力显微镜，它的环境控制单元可以使样品在大气中、真空中、溶液中等环境中进行测量。AFM5300E还具有高低温控制功能，可以检测温度对样品表面形貌和物理特性的影响。
特点
规格
应用数据
特点
1. 环境控制功能（大气，真空，液体，温控等）
AFM5300E能够实现高真空的测试环境，大限度减小样品表面吸附水对测试的影响，实现精确的物理特性测量。 真空环境下可以实现更大范围的温度控制。
（3857581号、3926638号）
●大气中 ●液体中 ●真空中 ●特殊气氛（流量控制）
●温度控制 加热・冷却(-120～300℃) 高温(室温～800℃)
●湿度控制(0～80%)
2. 简便操作（综合型Holder Flange）
通过采用『综合型Holder Flange开合功能』，样品和扫描器更換更为方便的同时，免去了以往环境型SPM的样品更換后的所需的光轴调整。 也省去测试模式切换时的支架更換环节。
3. 的高性能
采用了『Swing Cancel功能』，减轻了样品的浮动，降低了漂移。提高了纳米分析性能，提升了可信度。
4. 通过减轻表面吸附水的影响，提高了电气性能的检测精度
真空环境下减轻样品表面吸附的水分和污染物的影响，因而实现高分辨高灵敏的电学性能分析。
规格
| 分辨率 | 原子相 |
|---|---|
| 样品尺寸 | 20 mmφ、厚度10 mm (用配件厚度扩展至20 mm) |
| 样品移动范围 | X-Y stage 5 mm |
| 扫描范围 | 标准： 20 µm□/1.5 µmH • 150 µm□/5 µmH • 15 µm□/1.5 µmH（闭环差控制） 定位显微镜 • 简易显微镜（×200倍） • 光学显微镜（×1000倍） • 变焦显微镜（×700倍） • 金相显微镜（装有微分干渉）（×2000倍） |
| 检测功能 |
|
| 选配件 | 高温加热样品台 加热冷却兼用样品台 冷却真空 温度控制 |
应用数据
- Nd-Fe-B永磁铁的离子研磨-SEM-SPM联用观察(PDF格式、705kBytes)
- SEM&SNDM对掺杂浓度进行分析(PDF格式、735kBytes)
- SNDM功能观察SiC器件截面的掺杂浓度(PDF格式、792kBytes)
- SEM和SPM联用在橡胶材料研究方面的应用(PDF格式、876kBytes)
- 大气和真空环境下SPM测量样品功函的差异(PDF格式、422kBytes)
- 离子研磨仪在Nd-Fe-B磁铁的SPM观察中的应用(PDF格式、922kBytes)
- 离子研磨仪在锂离子电池的扫描探针显微镜观察中的应用(PDF格式、752kBytes)
- 锂离子电池电极材料通过真空转移系统实现离子研磨截面加工ｰSEM-SPM同一视野观察(PDF格式、1302 kBytes)
应用数据
介绍扫描探针显微镜的应用数据。
说明
解说扫描式隧道显微镜（STM）和原子力显微镜（AFM)等的原理和各种状态原理。
历史和SPM发展
描述我们的扫描探针显微镜和我们的设备的历史和发展。(Global site)
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