中文名高真空离子溅射仪外文名SputterCoaster特点自动洗靶,自动溅射范围不使用膜厚监控多循环9次1使用膜厚监控1.打开总电源,打开氩气开关(两成保持在0.035Mpa左右,溅射时也要注意氩气的流量)。2.按主机背面的开关按钮,进入开机界面,根据提示进行下面一系列的操作。3.接下来仪器就开始自动洗靶,自动溅射,溅射结束后要稍等片刻,然后按stop放气。待放气操作完成后,开盖,取出样品。4.TargetBtype操作同上。2不使用膜厚监控1.其余操作步骤同上,但要根据自己的需要设置溅射电流和溅射时间(长时间是4min),和
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