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仪表网>产品库>实验仪器>制样/消解设备>离子溅射仪>GSL-1100X-SPC16-3 3靶等离子溅射仪
  • GSL-1100X-SPC16-3  3靶等离子溅射仪

GSL-1100X-SPC16-3 3靶等离子溅射仪

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面议
具体成交价以合同协议为准
  • 型号
  • 品牌
  • 所在地天津市
  • 更新时间2023-08-15
  • 厂商性质其他
  • 所在地区天津市
  • 实名认证已认证
  • 产品数量71
  • 人气值449
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GSL1100X-SPC16-3等离子3靶溅射仪是一款经过CE认证的紧凑型等离子镀膜机
GSL-1100X-SPC16-3 3靶等离子溅射仪 产品详情

GSL1100X-SPC16-3 等离子3靶溅射仪是一款经过CE认证的紧凑型等离子镀膜机。本机是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的,、可靠、经济的镀膜设备。它的特别之处是在一个真空室内设计安装了三个靶。旋转样品台,可以依次在同一样品上涂覆三种材料。适用于实验室的各种复合膜样品制备,及非导体材料实验电极制作。

技术参数

电源电压

220V , 50/60 Hz

输出功率

  • < 2000W (including pump)
  • 离子电流表:电流:50mA 定时器:最长时间900s

输出电压(DC)

1600V

样品室

石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height


样品载物台

  • 一个外径50 mm 的样品台, 可以移动三个位置
  • 溅射面积: 45 mm

配件

  • 120 L/m的双旋片式机械真空泵,进行抽真空
  • 进气口处安装有储气球,防止泵油的回流,排气口安装有立式油污过滤器,可以过滤真空泵在工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,和保护环境,和人体健康
  • 不锈钢波纹管与 KFD-25接口相连用
  • 高纯度金箔靶
  • 系统需要一个带压力调节器的氩气瓶,但我们不提供

可通入气体

  • 多种 气压:-1600-3000DCV
  • 微型真空气阀:可连接Φ3mm软管





靶材

标配靶材:

  • Au target: 47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
  • Cu target: 47 mm dia. x 2.25 mm, 1pcs
  • Al target: 47 mm dia. x 3mm, 1pcs

可选靶材

  • Pt target (47mm dia.x0.12mm, 4N) available at $1590/ea
  • Ag target (47 mm dia. x 0.5mm, 4N) available at $495/ea
  • Graphite target (47mm dia.x 1.0 mm, 4N) available at $295/ea

设备特点

  • 配置有样品溅射室真空表和溅射电流表,用以指示、监控仪器状态;
  • 溅射电流调整控制器、微型真空气阀。在工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及任意选择所需要的电离气体,获得镀膜效果;
  • 特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈,可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩崩边现象;
  • 陶瓷密封高压头比通常采用橡胶密封的更经久耐用;
  • 根据电场中气体电离特性,采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀纯净。

外形尺寸

400mm × 300mm × 400mmL×W×H

净重

50 kg

质保期和质量认证

一年质保期,终身维护

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