在线气体质谱仪的工作流程图气体样品→进样系统→离子源→质量分析器→离子检测器→数据处理及控制系统,离子源、质量分析器、离子检测器必须在真空下工作(10–4pa)。进样系统--可用卡套直接把样品毛细管接到反应器,通过持续不断的进样、快速的检测,实时在线检测样品气体的种类和含量的变化。进样压力(100mbar-2bar),响应时间可短至300ms。进样毛细管主要有石英毛细管和不锈钢毛细管两种。石英不会和酸性气体反应且气体不容易吸附在其表面。离子源--一般都选用电子轰击离子源(EI)。中性分子被70ev的电子轰击
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