阐述气体流量传感器的工作原理

    气体流量传感器是一种把被测的机械量转换为电容量改动的传感器。它的灵敏部分便是具有可变参数的电容器。气体流量传感器可分为极距改动型、面积改动型、介质改动型三类。

 

    极距改动型一般用来测量微小的线位移或因为力、压力、振荡等引起的极距改动。面积改动型一般用于测量角位移或较大的线位移。介质改动型常用于物位测量和各种介质的温度、密度、湿度的测定。

 

    气体流量传感器作业原理气体流量传感器的电容检测元件是根据圆筒形电容器原理进行作业的，电容器由两个绝缘的同轴圆柱极板内电极和外电极组成，在两筒之间充以介电常数为e的电解质时，两圆筒间的电容量为C=2∏eL/lnD/d,式中L为两筒彼此重合部分的长度；D为外筒电极的直径；d为内筒电极的直径；e为中心介质的电介常数。在实际测量中D、d、e是根本不变的，所以气体流量传感器具有使用方便，结构简略和灵敏度高级特色。

 

    气体流量传感器作业原理--优缺陷电容器传感器的优点是结构简略，价格便宜，灵敏度高，过载能力强，动态呼应特性好和对高温、辐射、强振等恶劣条件的适应性强等。缺陷是输出有非线性，寄生电容和分布电容对灵敏度和测量精度的影响较大，以及联接电路较复杂等。

 

    70年代末以来，跟着集成电路技能的发展，出现了与微型测量仪表封装在一起的气体流量传感器。这种新式的传感器能使分布电容的影响大为减小，使其固有的缺陷得到战胜。气体流量传感器是一种用处极广，很有发展潜力的传感器。