平膜式气体流量传感器有什么样的特点

    平膜式气体流量传感器及其制造方法。它涉及流量传感器领域，它解决了气体流量传感器结构尺寸较大、功耗较高，且不易于批量生产，成本较高的缺点。它的单晶硅片的上下表面分别生成绝缘层，在上部绝缘层上依次生成过渡层和敏感金属层，并刻蚀为加热电阻、测温热敏电阻和控制电阻并平行。

 

    电极透过覆盖在单晶硅片上表面的钝化保护层连接敏感金属层，单晶硅片底部开有沉槽和矩形导流槽，其开设方向分别平行和垂直电阻刻蚀方向。方法按以下顺序依次制作绝缘层、底面腐蚀窗孔、敏感金属层、金属薄膜电阻、钝化保护层、引线孔、电极和截面为杯形的沉槽和矩形导流槽至完成。它提高了传感器的稳定性和可靠性，具有响应速度快和灵敏度高、功耗低的特点。

 

    传感器，顾名思义肯定是有传递某种信息或者信号的功能。其实很多人不知道传感器在我们日常生活以及工作中的应用是相当广泛的，就比如气体流量传感器，可以用于火灾报警器，具体一点就是一氧化碳传感器，还有一些超声波液位传感器、位置传感器、电流传感器、meas压力传感器等，那么这些传感器各自的属性是什么样的呢?

 

    1、美国Siargo气体流量传感器模块-FS6122系列特点：

 

    专门为医疗持续正压通气(CPAP)应用而设计;直接测量质量流量和相对压力;紧凑设计，体积小，死腔小，低功耗;响应时间快，可同时提供线性数字信号和模拟信号;

 

    2、英国SSTLPS系列直线位置传感器-LPS系列特点：

 

    玻璃纤维尼龙传感器体;10mm电气行程和弹簧压载式活塞;机械耐久寿命3,000,000次;公差±20%、磁滞<3.0%;配备回位弹簧500V时绝缘电阻大于10M欧姆;非常可靠、坚固耐用、使用简便、长寿命、易于安装、可靠的技术、轻松定制;

 

    3、美国CRMAGNETICSINC霍尔电流传感器-CR5411特点：用来提供一个可以按照比例反应电流输入波形的一种双极性输出;这些设备特定的用在一些应用上，比如多模电流检测;非接触式电流传感器，DIN导轨或面板安装;平均故障间隔时间：100K小时;