全自动化&高集成度&可视化光斑 AutoSE-一键式全自动快速椭偏仪
操作简单,测试快速,为一般操作工人设计
一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE——新型的全自动薄膜测量分析工具。
采用工业化设计,操作简单,可在几秒钟内完成全自动测量和分析,并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。
主要特点: AutoSE-一键式全自动快速椭偏仪
1. 液晶调制技术,无机械转动部件,重复性,信噪比高
2. 技术成像系技术,所有样品均可成像,对于透明样品,自动去除样品的背反射信号,使得数据分析更简单.
3. 反射式微光斑,覆盖全谱段,利于非均匀样品图案化样品测试
4. 全自动集成度高,安装维护简便
5. 一键式操作软件,快速简单
6. 自动MAPPING扫描,分析样品镀膜均匀性
技术参数:
1. 光谱范围:450-1000 nm
2. 多种微光斑自动选择
3. 光斑可视技术,可观测任何样品表面
4. 自动样品台尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm
5. 70度角入射
6. CCD探测器
不同于大多数的设备分销公司,我们具备技术与丰富的行业经验,不光只为用户提供设备,同时也能提供设备具体应用及工艺方面的支持服务。
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