可编程温控热蒸发镀膜仪
共有4个蒸发源坩埚和精密的可编程温度控制。 可以使用四个蒸发坩埚沉积多种不同的材料，以在相同的腔室气氛中一个接一个地生长多层膜。该系统适用于涂覆大多数金属和有机材料薄膜，尺寸至多为2“从200ºC至1500ºC（或200ºC-1700ºC，可选B型热电偶）。
简单介绍：
可编程温控热蒸发镀膜仪一款紧凑型热蒸发系统，共有4个蒸发源坩埚和精密的可编程温度控制。 可以使用四个蒸发坩埚沉积多种不同的材料，以在相同的腔室气氛中一个接一个地生长多层膜。该系统适用于涂覆大多数金属和有机材料薄膜，尺寸至多为2"从200ºC至1500ºC（或200ºC-1700ºC，可选B型热电偶）。
详情介绍：
产品特点：
1. 280 mm外径×260 mm内径×310 mm高度石英腔，便于清洁和装载样品
2. 2"可旋转蒸发源，用于均匀的薄膜涂层
3.钨丝圈加热器和氧化铝坩埚，适用于高达1700℃的高温涂层
4.精密温度控制，具有30个可编程段和+/-1℃精度
5.通过可选的涡轮泵可以实现高达1.0E-5 Torr的高真空
6.内置气体流量端口和阀门，用于腔室净化和CVD可能性
可编程温控热蒸发镀膜仪技术规格：
输入功率 | 输入电压：AC 208 - 240 V 50/60 Hz，单相（通过1500W变压器可提供110V AC） 输入功率：1200 W 输出功率：12 V，max电流30 A，*工作电流<30 A. 电源线不带插头 |
温度控制和加热器 | • 四个氧化铝蒸发坩埚，每个容量3 mL，四个热源不能同时使用，多层沉积将逐一进行。 • 带有热电偶的钨丝圈加热器内置在氧化铝坩埚的底部（用于温度控制）。 标准S型热电偶（包含和安装），从200℃-1500℃加热 可选B型热电偶（额外收费），1200℃-1700℃加热 • 一个数字温度控制器，具有30个可编程段和+/- 1℃精度。 • 温度控制器的时间设置以秒为单位，建议将温度加热/冷却速度限制在1200℃以下0.3℃/ s（或20℃/ min），并从1200℃-1700℃限制在0.15℃/ s（或10℃/ min） • 对于高于1300℃的连续加热，请将操作时间限制在1小时以内，以保持底部法兰O形圈的使用寿命 • 对于高达2000℃的快速涂层，如碳涂层所需，用户可以取下热电偶，氧化铝热块和氧化铝坩埚，将蒸发材料直接加载到钨盘加热器中，并使用当前的手动控制模式。 • 包括四个氧化铝坩埚（至高1700℃）和两个钨线圈加热器。 |
