伯东 KRI 考夫曼离子源 Gridded RFICP 系列-仪表网

公司介绍主营产品

位于中国上海浦东外高桥保税区的伯东企业（上海）有限公司创建于1995年12月，, 是日本伯东株式会社独资设立的外商投资企业，公司注册资金为200万美元，到目前为止公司从业员工有400多人。
伯东企业（上海）有限公司真空产品事业部()专业销售及维修德国Pfeiffer单双级旋片泵，干泵，罗茨泵，分子泵；应用于各种条件下的真空测量(真空计, 真空规管)；检漏仪，质谱仪，真空系统等等, 维修技术力量雄厚，保证 100 % 拥有标准的德国Pfeiffer原厂测试设备及调整工具和德国Pfeiffer专业培训工程师，多年来致力于真空系统的安装、调试、维修、拆机、保养等，具有优良的专业技能和服务意识，并获得原厂*维修资质证书。利用 Pfeiffer 进口检测设备对维修后的产品做*性能测试。另外公司还代理美国Brooks CTI Cryopump 冷凝泵/低温泵, Polycold 冷冻机和美国KRI 离子源，HVA 高真空阀门。公司一直坚持品质*、信誉*的原则，为广大客户提供了高品质的产品以及良好的售后服务。到目前为止已先后通过了美国UL安全认证、ISO9001－2000质量体系认证、ISO14001－1996环境体系认证。公司将在今后的发展中秉承以人为本，不断开拓进取的精神，为满足客户的需求努力向专业化、优质化、集团化发展。

为将国外的高科技产品与中国经济和社会的飞速发展紧密结合，为促进国内.贸易的快速发展,伯东企业(上海)有限公司,以高科技推动现代化，以高质量服务全中国, 坚持不懈,奋斗不息。伯东公司是一家专业代理公司,代理上公司的半导体设备.接插件.电子器件.精密仪器等,公司秉承改革.创新.求真.发展的基本原则, 精心构建诚信、互动、共赢的价值体系, 为所有的客户提供优质的产品, 同时,提供全伯东集团网络支持下的较早.Z快的信息与Z及时周到的服务,伯东公司愿意与世界各地的客户联手合作,共建一个诚信.发展.共同进步的良好环境.

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产地	进口	加工定制	否

上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源 RFICP 系列,无需灯丝提供高能量, 低浓度的离子束, 通过栅极控制离子束的能量和方向, 单次工艺时间更长,KRI 射频离子源

伯东 KRI 考夫曼离子源 Gridded RFICP 系列产品详情

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KRI 考夫曼离子源 Gridded RFICP 系列

上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源 RFICP 系列,无需灯丝提供高能量, 低浓度的离子束, 通过栅极控制离子束的能量和方向, 单次工艺时间更长,

KRI 射频离子源

RFICP 系列提供完整的套装, 套装包含离子源, 电子供应器, 中和器, 电源控制等

RFICP 系列离子源是制造精密薄膜和表面的有效工具, 有效改善靶材的致密性光透射,均匀性,附着力等

KRI 射频离子源
RFICP系列离子源应用:

离子辅助镀膜 IBAD( Ion beam assisted deposition in thermal & e-beam evaporation )

离子清洗 PC (In-situ preclean in sputtering & evaporation )

表面改性, 激活 SM (Surface modification and activation )

离子溅镀IBSD (Ion beam sputter deposition of single and multilayer structures)

离子蚀刻 IBE (Ion beam etching of surface features in any material)

RFICP系列离子源技术参数:

型号	RFICP 40	RFICP 100	RFICP 140	RFICP 220
Discharge 阳极	RF 射频	RF 射频	RF 射频	RF 射频
- 灯丝阴极	无	无	无	无
- 射频功率	0.6 kw	1kw	1kw	2kw
离子枪	离子束	离子束	离子束	离子束
- 栅极	根据实际应用选配
- 对齐		自对准	自对准	自对准
- 离子束直径@栅极	4cm	10 或12cm	14cm	22cm
中和器	LFN 2000	LFN 2000	LFN 2000	LFN 2000
电源控制	RFICP 1510-2-06-LFNA	RFICP 1510-2-10-LFNA	RFICP 1510-2-10-LFNA	RFICP 1510-2-10-LFNA
配置
Cathode / Neutralizer	LFN1000 or MHC1000 or RFN	LFN2000 or MHC1000 or RFN	LFN2000 or MHC1000 or RFN	LFN2000 or MHC1000 or RFN
基座	法兰或Remote	法兰或Remote	法兰或Remote	法兰或Remote
高度	5.0 英寸	9.25 英寸	9.8英寸	11.8 英寸
直径	5.3 英寸	7.52 英寸	9.8 英寸	16.1 英寸

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源 Gridded 和霍尔离子源 Gridless. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射沉积 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源 (离子枪) 中国总代理.

若您需要了解详细信息, 欢迎联络上海伯东罗先生

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